[發(fā)明專(zhuān)利]一種自動(dòng)脫料裝置及脫料方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010112861.4
• 申請(qǐng)日: 2020-02-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111293059A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉劍;湯開(kāi)榮;樊增勇;許兵;劉睿明;葉川
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 成都先進(jìn)功率半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H05F3/00;H05F3/06
• 代理公司: 四川力久律師事務(wù)所 51221
• 代理人: 張立剛

1.一種自動(dòng)脫料裝置，其特征在于，包括XYZ三軸運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和超聲破碎儀，所述XYZ三軸運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)于工作臺(tái)上，所述超聲破碎儀的換能器設(shè)置在XYZ三軸運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的Z軸上，用于帶動(dòng)換能器靠近或遠(yuǎn)離工作臺(tái)，還包括信息采集設(shè)備和除靜電設(shè)備，所述信息采集設(shè)備用于采集產(chǎn)品隨工單及UV膜上的產(chǎn)品信息，所述除靜電設(shè)備用于消除脫料時(shí)產(chǎn)生的靜電。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)脫料裝置，其特征在于，所述XYZ三軸運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括平行設(shè)置的Y軸絲桿螺母副和Y軸導(dǎo)軌，以及設(shè)置在Y軸絲桿螺母副和Y軸導(dǎo)軌上的X軸絲桿螺母副，所述X軸絲桿螺母副上設(shè)置有Z軸絲桿螺母副，還包括用于分別驅(qū)動(dòng)XYZ三軸絲桿螺母副運(yùn)動(dòng)的伺服電機(jī)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)脫料裝置，其特征在于，所述工作臺(tái)上還設(shè)有容器，所述容器用于接收從UV膜上脫離的晶粒。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自動(dòng)脫料裝置，其特征在于，所述容器的口部尺寸大于料片的徑向尺寸，且小于料片貼片環(huán)的徑向尺寸。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)脫料裝置，其特征在于，所述信息采集設(shè)備為掃碼槍。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)脫料裝置，其特征在于，所述除靜電設(shè)備為離子風(fēng)槍?zhuān)涑鲲L(fēng)朝向換能器上與UV膜相接觸的部位。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的自動(dòng)脫料裝置，其特征在于，所述離子風(fēng)槍設(shè)置在換能器上。

8.一種自動(dòng)脫料方法，其特征在于，利用權(quán)利要求1-7之一所述的自動(dòng)脫料裝置進(jìn)行脫料，包括以下步驟：

A、通過(guò)信息采集設(shè)備采集產(chǎn)品隨工單及UV膜上的產(chǎn)品信息；

B、當(dāng)采集到的產(chǎn)品信息一致時(shí)，調(diào)整XYZ三軸運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)中的Z軸高度使換能器與UV膜背面接觸；

C、通過(guò)XYZ三軸運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)中的XY軸自動(dòng)移動(dòng)使換能器在UV膜上行走。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的自動(dòng)脫料方法，其特征在于，脫料時(shí)在工作臺(tái)上設(shè)置接收產(chǎn)品的容器，使其位于換能器下方。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的自動(dòng)脫料方法，其特征在于，將料片貼片環(huán)放置在容器上，使UV膜上粘有料片的一側(cè)朝向容器口部。