[發明專利]用于檢查玻璃基板的開路/短路檢查機及其檢查方法

有效

• 申請號: 202010108499.3
• 申請日: 2020-02-21
• 公開（公告）號: CN111610461B
• 公開（公告）日: 2022-12-13
• 發明（設計）人: 黃文炯
• 申請（專利權）人: 興城科技股份有限公司
• 主分類號: G01R31/50
• 分類號: G01R31/50;G01R31/52;G01N21/958
• 代理公司: 北京市漢坤律師事務所 11602
• 代理人: 魏小薇;吳麗麗

1.一種開路/短路檢查機，用于包括分別具有電路的多個面板的玻璃基板，

包括：

氣浮平臺；

測量平臺；

凹槽，設置于所述氣浮平臺與所述測量平臺之間；

發光裝置，設置于所述凹槽中，且沿著所述凹槽水平地移動，用于發出反向光；以及

位置掃描裝置，設置于所述凹槽上方，用于當各所述電路的至少其中之一具有短路和/或開路時，使所述反向光沿著所述凹槽照射位于所述凹槽上方的具有所述短路和/或所述開路的各所述電路，并沿著所述凹槽上方進行第一位置掃描以確認具有所述短路和/或所述開路的各所述電路的所述短路和/或所述開路的第一位置，且所述位置掃描裝置用于發出正向光與側向光，當所述正向光與所述側向光同時照射具有所述短路和/或所述開路的各所述電路時，所述位置掃描裝置沿著所述凹槽上方進行第二位置掃描以確認具有所述短路和/或所述開路的各所述電路的所述短路和/或所述開路的第二位置，將所述第一位置與所述第二位置相加，以獲得具有所述短路和/或所述開路的各所述電路的各所述短路和/或各所述開路的確切位置。

2.根據權利要求1所述的開路/短路檢查機，其中所述位置掃描裝置具有位置檢查傳感器及自動光學檢測AOI裝置，所述位置檢查傳感器用于偵測所述開路，所述AOI裝置用于偵測所述短路，所述發光裝置包括具有滑軌的裝置支架與點光源，所述點光源用于發出所述反向光，且設置于所述滑軌上以使所述點光源沿著所述凹槽水平移動，所述AOI裝置發出所述正向光與所述側向光，所述正向光自所述AOI裝置豎直向具有所述短路和/或所述開路的各所述電路照射，所述側向光自所述玻璃基板的一側上方向具有所述短路和/或所述開路的各所述電路照射。

3.根據權利要求2所述的開路/短路檢查機，其中所述反向光自所述凹槽中向所述玻璃基板照射，且當所述發光裝置設置于所述凹槽中時，所述點光源與所述玻璃基板間的工作距離是相距100mm，當所述發光裝置發出所述反向光時，所述AOI不發出所述正向光與側向光，而當所述AOI裝置發出所述正向光與所述側向光時，所述發光裝置則不發出所述反向光。

4.根據權利要求2所述的開路/短路檢查機，還包括第一至第四線傳感器、第一與第二對準相機與龍門機構，其中所述龍門機構具有第一與一第二龍門移動滑軌和橫梁，所述第一與所述第二龍門移動滑軌分別設置于所述測量平臺的第一側的外緣與第二側的外緣，且所述第一與所述第二龍門移動滑軌實質上豎直于所述凹槽，所述橫梁設置于所述第一龍門移動滑軌與所述第二龍門移動滑軌上，且位于所述測量平臺上方，所述第一至所述第四線傳感器、所述第一與所述第二對準相機、所述位置檢查傳感器及所述AOI裝置設置于所述橫梁的不同高度和/或位置上，所述玻璃基板的右上角與右下角分別具有第一定位標志與第二定位標志，所述多個面板分為m列，每列具有n個面板，m與n為正整數，當所述開路/短路檢查機開始第一次線掃描時，所述第一對準相機對準所述第一定位標志，所述第二對準相機對準所述第二定位標志，所述第一與所述第二線傳感器分別依據第一線傳感器間距調整方向與第二線傳感器間距調整方向移動至所述第一列的第一個面板上的第一與第二線傳感器掃描啟始位置，同時，所述第三與所述第四線傳感器則分別依據第三線傳感器間距調整方向與第四線傳感器間距調整方向移動至鄰接所述第一列的第二列的第一個面板上的第三與第四線傳感器掃描啟始位置，以依據線掃描移動方向進行所述第一次線掃描，以此類推，直至所述多個面板全部被掃描完畢；而后使具有所述開路和/或所述短路的各所述電路逐一被移動至位于所述凹槽上方的位置，以進行所述第一位置掃描與所述第二位置掃描。