[發(fā)明專利]一種大尺寸石英管的退火方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010107874.2
• 申請日: 2020-02-21
• 公開（公告）號: CN111302610A
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發(fā)明（設計）人: 暢家盛
• 申請（專利權）人: 連云港國倫石英制品有限公司
• 主分類號: C03B25/00
• 分類號: C03B25/00
• 代理公司: 連云港聯創(chuàng)專利代理事務所(特殊普通合伙) 32330
• 代理人: 谷金穎

1.一種大尺寸石英管的退火方法，其特征在于，包括如下步驟：步驟一，升溫階段：將石英管以10～15℃/min的速度升溫至1150-1250℃；步驟二，保溫階段：1150-1250℃保溫5-7h；步驟三，慢冷階段：降溫至850-950℃保溫；步驟四，升溫階段：石英管升溫至1150-1250℃保溫；步驟五，降溫階段：先降溫至850-950℃，再降溫至550-650℃，繼續(xù)降溫至150-250℃開啟爐門，將石英管置于空氣中完全冷卻至室溫。

2.根據權利要求1所述的一種大尺寸石英管的退火方法，其特征在于，所述步驟三：慢冷階段，然后以4-6℃/h的速度降溫至850-950℃，保溫0.5-1.5h。

3.根據權利要求2所述的一種大尺寸石英管的退火方法，其特征在于，所述步驟四：升溫階段，以10～15℃/min的速度升溫至1150-1250℃，保溫3.5-4.5h。

4.根據權利要求3所述的一種大尺寸石英管的退火方法，其特征在于，所述步驟五：降溫階段，以4-6℃/h的速度降溫850-950℃，再以28-32℃/h的速度降溫至550-650℃，繼續(xù)以58-62℃/h的速度降溫至150-250℃，開啟爐門，將石英管置于空氣中完全冷卻至室溫。

5.根據權利要求4所述的一種大尺寸石英管的退火方法，其特征在于，包括如下步驟：步驟一：升溫階段：將石英管以15℃/min的速度升溫至1150℃；步驟二：保溫階段：在1150℃保溫6h；步驟三：慢冷階段：然后以5℃/h的速度降溫至850℃，保溫1h；步驟四：升溫階段：再以15℃/min的速度升溫至1150℃，保溫4h；步驟五：降溫階段：然后以5℃/h的速度降溫至850℃，再以30℃/h的速度降溫至500℃，繼續(xù)以60℃/h的速度降溫至200℃，開啟爐門，將石英管置于空氣中完全冷卻至室溫。