[發明專利]顯示基板及其制備方法、顯示裝置

在審

• 申請號: 202010099422.4
• 申請日: 2020-02-18
• 公開（公告）號: CN111276415A
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發明（設計）人: 董中飛;袁洪光;黃建雄;劉國棟;董一民;郭曉亮
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/67;H01L21/84;H01L27/12;H01L27/32;G09F9/33
• 代理公司: 北京安信方達知識產權代理有限公司 11262
• 代理人: 解婷婷;曲鵬

本發明提供了一種顯示基板及其制備方法、顯示裝置，該顯示基板的制備方法包括：在基底上形成隔離柱；在形成所述隔離柱的過程中，通過檢測所述隔離柱的線性電阻值，以確定所述隔離柱的側蝕深度。從而解決現有顯示基板無法實時監控隔離柱隔離效果的問題。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，具體涉及一種顯示基板及其制備方法、顯示裝置。

背景技術

有機發光二極管(Organic Light Emitting Diode，OLED)為主動發光顯示器件，具有自發光、廣視角、高對比度、較低耗電、反應速度快等優點。隨著顯示技術的不斷發展，OLED技術越來越多的應用各種顯示裝置中，特別是手機和平板電腦等智能終端產品中。

對于智能終端產品，大部分廠商都在追求更高的屏占比，如全面屏和無邊框屏，以期給用戶帶來更炫的視覺沖擊。由于智能終端等產品通常需要設置前置攝像頭、光線傳感器等硬件，因此在OLED顯示屏的有效顯示區域開設安裝孔以設置攝像頭等硬件的方案，正備受業內的高度關注。而在屏幕上開孔容易使公共發光材料層形成水氧入侵通道。目前，主要是通過隔離柱設計，來實現對公共發光材料層的阻斷作用，進而截斷水氧入侵通道，防止封裝不良產生。

現階段，作為前沿技術的柔性有機發光二極管(FOLED)逐步體現出它在顯示行業中的優勢。隨著市場的需求，柔性有機發光二極管技術越來越普及，同時各大手機廠商以此作為推出亮點來吸引消費者目光。然而，柔性有機發光二極管顯示基板中無法實時監控隔離柱的隔離效果，導致產品無法實現量產。

發明內容

本發明實施例所要解決的技術問題是，提供一種顯示基板及其制備方法、顯示裝置，以解決現有顯示基板無法實時監控隔離柱隔離效果的問題。

為了解決上述技術問題，本發明實施例提供了一種顯示基板的制備方法，包括：

在基底上形成隔離柱；

在形成所述隔離柱的過程中，通過檢測所述隔離柱的線性電阻值，以確定所述隔離柱的側蝕深度。

可選地，包括：

通過同一制備過程，在所述基底之上形成所述隔離柱以及模擬柱；

在形成所述隔離柱和所述模擬柱的過程中，通過檢測所述模擬柱的線性電阻值，以確定所述隔離柱的線性電阻值，進而確定所述隔離柱的側蝕深度。

可選地，所述模擬柱與所述隔離柱的形狀和尺寸相同。

可選地，所述通過同一制備過程，在所述基底之上形成所述隔離柱以及模擬柱，包括：

在所述基底之上形成隔離膜層，

采用同一刻蝕工藝將所述隔離膜層形成所述隔離柱以及所述模擬柱。

可選地，在所述模擬柱上形成至少兩個檢測焊盤；通過檢測所述檢測焊盤之間的線性電阻值，以檢測所述模擬柱的線性電阻值。

可選地，所述在形成所述隔離柱的過程中，通過檢測所述隔離柱的線性電阻值，以確定所述隔離柱的側蝕深度，包括：

在所述基底之上形成檢測鍵組；

通過所述檢測鍵組檢測所述隔離柱的線性電阻值，以確定所述隔離柱的側蝕深度。

可選地，在所述基底之上形成檢測鍵組，包括：

在所述基底之上形成源漏極層；

在所述源漏極層之上形成多個檢測焊盤，每個檢測焊盤通過相互電性隔離的引線與所述源漏極層連接，以形成所述檢測鍵組。

可選地，所述基底之上形成有電子參數測量區域，所述檢測鍵組位于所述電子參數測量區域中。