[發明專利]管體和泵裝置

有效

• 申請號: 202010080475.1
• 申請日: 2020-02-05
• 公開（公告）號: CN111550396B
• 公開（公告）日: 2023-08-29
• 發明（設計）人: 石丸大輔;橋本克也;高木康弘
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: F04B53/00
• 分類號: F04B53/00;F04B43/10;F04B43/113
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

本發明提供一種管體和泵裝置。使管體的壽命提高。該管體被使用于供液構件，是能夠利用加壓而變形的空心的管體，其中，所述管體的軸向截面具有彼此相對的兩個長邊部和彼此相對的兩個短邊部，各所述長邊部與各所述短邊部所形成的、4個角部分具有向外側凸出地彎曲而成的形狀，各所述長邊部具有與所述角部分連續的向內側凹陷而成的凹部，各所述短邊部的除了所述角部分以外的部分是平坦形狀。

技術領域

本發明涉及一種管體和泵裝置。

背景技術

在專利文獻1中公開有一種化學溶液供給裝置，該化學溶液供給裝置的特征在于，該化學溶液供給裝置具有：撓性管，其由彈性材料料形成，在徑向上彈性膨脹收縮自如；供給側流路，其連接于所述撓性管的一端部與化學溶液收容部之間，并設置有供給側開閉閥；噴出側流路，其連接于所述撓性管的另一端部與化學溶液噴出部之間，并設置有噴出側開閉閥；波紋管，其具有由彈性構件形成的小型波紋管部和由彈性構件形成的大型波紋管部，該大型波紋管部軸向上的每單位位移量的容積變化比該小型波紋管部在軸向上的每單位位移量的容積變化大，并且，該波紋管配置于所述撓性管的外側且在軸向上彈性變形自如；非壓縮性介質，其被封入到所述撓性管與所述波紋管之間；以及驅動部件，其使所述波紋管在軸向上彈性變形而使所述小型波紋管部收縮且使所述大型波紋管部膨脹，另一方面，使所述小型波紋管部膨脹且使所述大型波紋管部收縮來使所述撓性管在徑向上彈性變形。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平10-61558號公報

發明內容

發明要解決的問題

本發明的技術使管體的壽命提高。

用于解決問題的方案

本發明的一技術方案是管體，其是被使用于供液構件的供液構件用管體，是能夠利用加壓而變形的空心的管體，所述管體的軸向截面具有彼此相對的兩個長邊部和彼此相對的兩個短邊部，各所述長邊部與各所述短邊部所形成的、4個角部分具有向外側凸出地彎曲而成的形狀，各所述長邊部具有與所述角部分連續的向內側凹陷而成的凹部，各所述短邊部的除了所述角部分以外的部分是平坦形狀。

對于上述管體，也可以是，所述長邊部的凹部具有平坦部。

對于上述管體，也可以是，所述長邊部的凹部具有向內側凸出的彎曲形狀部。

對于上述管體，也可以是，所述長邊部的凹部的至少中央是比所述管體的其他部分的壁厚厚的壁厚。

對于上述管體，也可以是，所述長邊部的凹部的直線長度是所述長邊部的長度的20％～60％。

對于上述管體，也可以是，所述長邊部的凹部的直線長度是各所述短邊部的平坦形狀的部分的長度的100％～140％。

對于上述管體，也可以是，所述長邊部的長度是各所述長邊部的各凹部彼此間的距離的150％～190％。

本發明的另一技術方案是泵裝置，該泵裝置在上述管體的外側以隔開空間的方式具有外側管體，通過向所述空間內供給氣體，從而將所述管體內的液體進行供液，通過抽吸所述空間內的氣氛，從而向所述管體內補充供液對象的液體。

發明的效果

根據本發明，能夠使管體的壽命提高。

附圖說明

圖1是示意性地表示采用實施方式的管體，并裝入到處理液供給系統的抗蝕劑涂敷裝置的結構的概略的縱剖視圖。

圖2是表示適用到圖1的抗蝕劑涂敷裝置的抗蝕劑液供給裝置的系統的概略的說明圖。

圖3是使用到圖2的抗蝕劑液供給裝置的泵裝置的側視圖。

圖4是圖3的泵裝置的外側管體的立體圖。