[發(fā)明專(zhuān)利]具有可調(diào)節(jié)的氧化硅和氮化硅去除速率的淺溝槽隔離化學(xué)機(jī)械平面化拋光

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010078712.0
• 申請(qǐng)日: 2020-02-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111500197B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-08-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 史曉波;K·P·穆瑞拉;J·D·羅斯;周鴻君;M·L·奧內(nèi)爾
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 弗薩姆材料美國(guó)有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): C09G1/02
• 分類(lèi)號(hào): C09G1/02;H01L21/306
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 吳亦華;徐志明

1.一種化學(xué)機(jī)械拋光組合物，其由以下組成：

二氧化鈰涂覆的膠體二氧化硅顆粒；

至少一種含氮芳族雜環(huán)化合物，選自苯并三唑及其衍生物、2-氨基苯并咪唑及其衍生物、氨基三唑及其衍生物、三唑及其衍生物，及其組合，其中所述至少一種含氮芳族雜環(huán)化合物在所述組合物中以0.0001重量％至2.0重量％的濃度存在；

至少一種具有多于一個(gè)羥基官能團(tuán)的非離子有機(jī)分子，選自衛(wèi)矛醇、D-山梨糖醇、麥芽糖醇、乳糖醇及其組合，其中所述至少一種具有多于一個(gè)羥基官能團(tuán)的非離子有機(jī)分子在所述組合物中以0.001重量％至2.0％重量％范圍的濃度存在；

至少一種溶劑；和

任選地，殺生物劑；和

任選地，至少一種pH調(diào)節(jié)劑，

其中所述組合物的pH為2至12。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械拋光組合物，其中所述pH為3至10。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)機(jī)械拋光組合物，其中所述pH為4至9。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的化學(xué)機(jī)械拋光組合物，其中所述顆粒在所述組合物中以0.01重量％至20重量％的濃度范圍存在。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學(xué)機(jī)械拋光組合物，其中所述顆粒在所述組合物中以0.05重量％至10重量％的濃度范圍存在。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的化學(xué)機(jī)械拋光組合物，其中所述顆粒在所述組合物中以0.1重量％至5重量％的濃度范圍存在。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的化學(xué)機(jī)械拋光組合物，其中所述顆粒的濃度以0.01重量％至2.00重量％的濃度范圍存在。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的化學(xué)機(jī)械拋光組合物，其中所述顆粒的濃度以0.025重量％至1.0重量％的濃度范圍存在。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的化學(xué)機(jī)械拋光組合物，其中所述顆粒的濃度以0.05至0.5重量％的濃度范圍存在。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的化學(xué)機(jī)械拋光組合物，其中所述至少一種溶劑選自去離子水、蒸餾水和含醇有機(jī)溶劑。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械拋光組合物，其中所述至少一種含氮芳族雜環(huán)化合物在所述組合物中以0.001重量％至1.0重量％的濃度存在。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的化學(xué)機(jī)械拋光組合物，其中所述至少一種含氮芳族雜環(huán)化合物在所述組合物中以0.0025重量％至0.25重量％的濃度存在。

13.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的化學(xué)機(jī)械拋光組合物，其中所述至少一種含氮芳族雜環(huán)化合物選自2-氨基苯并咪唑和氨基三唑。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械拋光組合物，其中所述至少一種具有多于一個(gè)羥基官能團(tuán)的非離子有機(jī)分子在所述組合物中以0.0025重量％至1.0重量％范圍的濃度存在。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的化學(xué)機(jī)械拋光組合物，其中所述至少一種具有多于一個(gè)羥基官能團(tuán)的非離子有機(jī)分子在所述組合物中以0.05重量％至0.5重量％范圍的濃度存在。

16.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的化學(xué)機(jī)械拋光組合物，其中所述組合物還包含0.0001重量％至0.05重量％的殺生物劑，和/或其中所述殺生物劑包括5-氯-2-甲基-4-異噻唑啉-3-酮和/或2-甲基-4-異噻唑啉-3-酮。