[發(fā)明專利]高分辨激光輸出功率變化量監(jiān)測(cè)裝置與方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010064738.X
• 申請(qǐng)日: 2020-01-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111238773A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李大偉;胡晨璐;劉曉鳳;趙元安;連亞飛;朱美萍;易葵;邵建達(dá)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號(hào): G01M11/00
• 分類號(hào): G01M11/00;G01J1/42
• 代理公司: 上海恒慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

1.一種高分辨激光輸出功率變化量監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，包括斬波器(1)、第一光電探測(cè)器(2)、第二光電探測(cè)器(3)、楔形片(4)和鎖相放大器(5)，沿激光輸出方向依次是所述的斬波器(1)和楔形片(4)，在所述的楔形片(4)的前表面的反射光方向設(shè)置所述的第一光電探測(cè)器(2)，在所述的楔形片(4)的后表面的反射光方向設(shè)置所述的第二光電探測(cè)器(3)，所述的第一光電探測(cè)器(2)的輸出端與所述的鎖相放大器(5)的第一輸入端(5-1)相連，所述的第二光電探測(cè)器(3)的輸出端與所述的鎖相放大器(5)的第二輸入端(5-2)相連，所述的斬波器(1)的同步信號(hào)輸出端與所述的鎖相放大器(5)的參考信號(hào)輸入端(5-3)相連。

2.利用權(quán)利要求1所述的高分辨激光輸出功率變化量監(jiān)測(cè)裝置對(duì)激光輸出功率變化量的測(cè)量方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：

1)在鎖相放大器(5)的“SIGNAL INPUT”區(qū)域按“Input”按鈕，選中“A-B”檔，使得鎖相放大器(5)處于差分運(yùn)算的工作模式下，輸出差分信號(hào)；

2)在激光照射方向依次安裝所述的斬波器(1)和楔形片(4)，當(dāng)激光脈沖照射到該楔形片(4)時(shí)，會(huì)分別在前、后表面產(chǎn)生反射，在其前表面產(chǎn)生的反射光的方向處安裝所述的第一光電探測(cè)器(2)；在其后表面產(chǎn)生的反射光的方向處安裝所述的第二光電探測(cè)器(3)，第一光電探測(cè)器(2)輸出端連接所述的鎖相放大器(5)的第一輸入端(5-1)；第二光電探測(cè)器(3)的輸出端連接所述的鎖相放大器(5)的第二輸入端(5-2)，所述的斬波器(1)輸出端連接所述的鎖相放大器(5)的參考信號(hào)輸入端(5-3)，對(duì)待測(cè)的高分辨激光束進(jìn)行測(cè)量，鎖相放大器(5)輸出信號(hào)為S；

3)根據(jù)鎖相放大器(5)輸出信號(hào)S與激光輸出功率P成線性關(guān)系，鎖相放大器(5)輸出信號(hào)S的波動(dòng)，觀測(cè)到激光輸出功率P的波動(dòng)，若S的值保持穩(wěn)定，則激光輸出功率P也保持穩(wěn)定。