[發(fā)明專(zhuān)利]導(dǎo)電薄膜多探針測(cè)量裝置及其測(cè)量方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010062468.9
• 申請(qǐng)日: 2020-01-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111077373A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉相華;胡振賢
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 麥嶠里（上海）半導(dǎo)體科技有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R27/02
• 分類(lèi)號(hào): G01R27/02;G01R1/067;G01R1/073;G01N27/04
• 代理公司: 上海驍象知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31315
• 代理人: 趙峰

1.一種導(dǎo)電薄膜多探針測(cè)量裝置，包括測(cè)量基座、探頭座；所述探頭座上設(shè)有能上下滑動(dòng)的多根探針，每根探針上都設(shè)有彈性加力部件，彈性加力部件的下端連接探針，彈性加力部件的上端連接探頭座；每根探針的下端都低于探頭座的下端，并且每根探針都能向上滑動(dòng)至探針的下端與探頭座的下端齊平；其特征在于：

所述測(cè)量基座上設(shè)有能上下活動(dòng)的活動(dòng)座，并且在測(cè)量基座上設(shè)有用于驅(qū)使活動(dòng)座向上回位的彈性回位部件，彈性回位部件的一端連接測(cè)量基座，另一端連接活動(dòng)座，所述探頭座固定在活動(dòng)座上；

所述測(cè)量基座上設(shè)有能上下滑動(dòng)的推桿，及用于驅(qū)動(dòng)推桿上下滑動(dòng)的推桿驅(qū)動(dòng)部件，推桿的下端抵住活動(dòng)座，推桿上設(shè)有用于檢測(cè)推桿所承受的豎向壓力的壓力傳感器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電薄膜多探針測(cè)量裝置，其特征在于：所述測(cè)量基座上設(shè)有用于檢測(cè)推桿上下滑動(dòng)行程的高度測(cè)量器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的導(dǎo)電薄膜多探針測(cè)量裝置的測(cè)量方法，其特征在于：

將推桿的下滑行程始點(diǎn)定義為點(diǎn)a，將推桿下滑到使得探針剛好觸及樣品表面但未對(duì)樣品表面施加壓力時(shí)的臨界點(diǎn)定義為點(diǎn)b，將推桿下滑到使得探針正好向上縮回至行程止點(diǎn)時(shí)的臨界點(diǎn)定義為點(diǎn)c；

將推桿從點(diǎn)a下滑至點(diǎn)b的下滑行程定義為第一階段行程；將推桿從點(diǎn)b下滑至點(diǎn)c的下滑行程定義為第二階段行程；

利用推桿驅(qū)動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)推桿向下滑動(dòng)，并利用壓力傳感器測(cè)量推桿所承受的豎向壓力；

在推桿的第二階段行程中實(shí)時(shí)計(jì)算探針受力，當(dāng)探針受力的計(jì)算值達(dá)到所需要的設(shè)定值時(shí)停止推桿的下滑；

推桿的第二階段行程中的探針受力計(jì)算公式為：

dlt_F= F_meas-F_calculate

式中，dlt_F為探針受力值，F(xiàn)_meas為推桿在第二階段行程中所承受的豎向壓力實(shí)時(shí)值，F(xiàn)_calculate為推桿在第一階段行程中所承受的豎向壓力測(cè)得值。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的導(dǎo)電薄膜多探針測(cè)量裝置的測(cè)量方法，其特征在于：利用高度測(cè)量器測(cè)量推桿的向下滑動(dòng)行程，根據(jù)推桿在第二階段行程中的向下滑動(dòng)行程測(cè)得值，及推桿在第二階段行程中所承受的豎向壓力測(cè)得值，求得推桿第二階段行程中的探針受力曲線。