[發明專利]一種微納復合結構光提取膜的制備方法

有效

• 申請號: 202010062209.6
• 申請日: 2020-01-20
• 公開（公告）號: CN111146367B
• 公開（公告）日: 2021-03-30
• 發明（設計）人: 周雄圖;賴曉聰;郭太良;張永愛;吳朝興;林志賢;嚴群
• 申請（專利權）人: 福州大學
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/52
• 代理公司: 福州元創專利商標代理有限公司 35100
• 代理人: 錢莉;蔡學俊

本發明涉及一種微納復合結構光提取膜的制備方法，包括步驟：步驟S1：采用軟印刷方法制備具有有序微米結構的PDMS模板；步驟S2：將有序微米結構的PDMS模板進行拉伸，并進行等離子處理，在微米結構的PDMS模板上獲得不同形狀和尺寸的納米圖案，形成具有與所需微納米復合結構相反的PDMS微納米復合圖案；步驟S3：將PDMS微納米復合圖案轉移到所需聚合物上，得到光提取膜。本發明制作效率高，成本低，同時制備的光提取膜在有序微米結構圖案嵌套無序納米結構，可以避免器件襯底與空氣界面的光損失，在不改變OLED器件的視角特性的同時，具有較強的光提取效果。

技術領域

本發明涉及光電顯示技術領域，特別是一種微納復合結構光提取膜的制備方法。

背景技術

有機發光二極管(OLED)被廣泛地應用于移動電話和電視機的顯示器中，然而，由于金屬有機界面處的表面等離子激元共振模式、銦錫氧化物(ITO)/有機層中的波導模式，玻璃基板中的基板模式等產生的損失，OLED的外部量子效率為約20%。

由于ITO/玻璃界面和玻璃/空氣界面之間的折射率小,所以基板模式中的光損耗大于波導模式中的光損耗，因此，在玻璃/空氣界面處添加一層光提取層，可以極大的增加OLED的發光效率。

傳統的單一周期性微米結構光提取膜往往會改變器件的光譜特性和角度分布。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的是提出一種微納復合結構光提取膜的制備方法，該光提取膜可以避免器件襯底與空氣界面的光損失，在不改變OLED器件的視角特性的同時，具有較強的光提取效果，該制備方法采用復制的方法，制作效率高，成本低。

本發明采用以下方案實現：一種微納復合結構光提取膜的制備方法，該光提取膜包括基底、施加在所述基底上周期性微米結構、以及施加在所述微米結構上的納米結構；所述光提取膜的制備包括以下步驟：

步驟S1：采用軟印刷方法制備具有有序微米結構的PDMS模板；

步驟S2：將有序微米結構的PDMS模板在單一方向或多方方向同時進行拉伸，并進行等離子處理，在微米結構的PDMS模板上獲得不同形狀和尺寸的納米圖案，形成PDMS微納米復合圖案；通過調控拉伸方向控制納米結構圖案，從而控制不同方向光的提取效率；

步驟S3：將PDMS微納米復合圖案轉移到所需聚合物上，形成具有與所需微納米復合結構相反的微納米復合圖案；

步驟S4：以步驟S3得到的與所需微納米復合結構相反的微納米復合圖案為模板，用以一次或多次復制所需微納復合結構光提取膜，以提高制備效率。

進一步地，步驟S1具體包括以下步驟：

步驟S11：在潔凈襯底上制備微米圖案，并對微米圖案進行退火，提高圖案與襯底的結合力，形成微米圖案母版；

步驟S12：采用三甲基氯硅烷對微米圖案母版進行表面修飾；

步驟S13：采用軟印刷方法，將聚二甲基硅氧烷單體和交聯劑按預設比例均勻混合，抽真空除泡后，均勻旋涂于微米圖案母版上，靜置后加熱固化，剝離后得到與微米圖案母版相反的聚二甲基硅氧烷微米結構，即具有有序微米結構的PDMS模板。

進一步地，步驟S3具體包括以下步驟：

步驟S31：將步驟S3得到的具有PDMS微納米復合圖案的PDMS模板放置在真空中排除聚二甲基硅氧烷內的氣體，并形成負壓；

步驟S32：在基板上均勻涂覆紫外固化膠，將步驟S31處理后的具有負壓的PDMS模板有圖案一面放置于紫外固化膠上，在負壓和重力作用下靜置一段時間，紫外曝光后剝離PDMS模板，得到具有與所需微納米復合結構相反的UV膠微納米復合圖案。

進一步地，步驟S4中，所述復制所需微納復合結構光提取膜具體包括以下步驟：