[發明專利]一種高精度磁場測量設備

有效

• 申請號: 202010059632.0
• 申請日: 2020-01-19
• 公開（公告）號: CN111175674B
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發明（設計）人: 汪振玉;徐秋軍
• 申請（專利權）人: 上海速磁科技有限公司
• 主分類號: G01R33/02
• 分類號: G01R33/02
• 代理公司: 北京沁優知識產權代理有限公司 11684
• 代理人: 蔡巖巖

1.一種高精度磁場測量設備，包括若干用于磁場測量的探頭(7)以及用于帶動探頭(7)移動的移動裝置(6)，其特征在于：所述探頭(7)連接有探頭調節機構(8)，所述移動裝置(6)包括用于橫向驅動的X軸移動機構(1)、用于縱向驅動的Y軸移動機構(2)、用于旋轉調整的旋轉機構(3)、用于上下驅動的Z軸移動機構(4)以及用于固定探頭(7)的安裝機構(5)；

所述探頭調節機構(8)包括上下角度調節組件(81)以及與上下角度調節組件(81)相連接的測量范圍調節組件(82)；

所述上下角度調節組件(81)包括與安裝機構(5)相連接的安裝板(8103)，所述安裝板(8103)遠離安裝機構(5)的一側設置有第一安裝殼(8101)，所述第一安裝殼(8101)上設置有第三伺服電機(8102)，所述第三伺服電機(8102)的輸出軸伸入第一安裝殼(8101)內連接有主動齒輪(8104)，所述主動齒輪(8104)嚙合有從動齒輪(8105)，所述從動齒輪(8105)遠離安裝板(8103)的一側固定有伸出第一安裝殼(8101)外部的調節桿(8106)，所述主動齒輪(8104)的中間連接有第二角度傳感器(8107)；

所述測量范圍調節組件(82)包括與調節桿(8106)相連接的第二安裝殼(8201)，所述第二安裝殼(8201)內部靠近調節桿(8106)的一側設置有第四伺服電機(8202)，所述第四伺服電機(8202)的輸出軸連接有位于第二安裝殼(8201)中心位置的第二螺桿(8203)，所述第二螺桿(8203)螺紋連接有第二螺母座(8204)，所述第二螺母座(8204)外表面等距鉸接有若干連桿(8205)，所述連桿(8205)內部開設有調節槽(8207)，所述第二安裝殼(8201)內固定有限位桿(8206)，所述限位桿(8206)的一端固定有與調節槽(8207)滑動連接的限位滑塊(8208)；

所述第二安裝殼(8201)遠離調節桿(8106)的一側中間位置固定有一水平設置的探頭(7)，若干連桿(8205)遠離第二螺母座(8204)的一端分別連接有一個探頭(7)，所述連桿(8205)通過調節槽(8207)與限位桿(8206)的限位滑塊(8208)滑動連接，安裝在所述連桿(8205)上的探頭(7)通過連桿(8205)的角度調整沿中心的探頭(7)進行收縮和擴張做適應性修改。

2.根據權利要求1所述的一種高精度磁場測量設備，其特征在于：所述X軸移動機構(1)包括設置在移動裝置(6)底部的X軸基座(101)，所述X軸基座(101)頂部中間設置有第一直線導軌(103)，所述第一直線導軌(103)上匹配有用于橫向移動動力輸出的第一直線電機(105)，所述X軸基座(101)頂部與第一直線導軌(103)平行的兩側分別設置有一個第一滑軌(102)，所述第一滑軌(102)上匹配有第一滑座(106)，所述X軸基座(101)頂部的一端設置有用于檢測Y軸移動機構(2)的位移量的第一位移傳感器(104)。

3.根據權利要求2所述的一種高精度磁場測量設備，其特征在于：所述Y軸移動機構(2)包括與第一滑座(106)和第一直線電機(105)相連接的第一連接座(209)，所述第一連接座(209)底部設置有與第一位移傳感器(104)相匹配的第一檢測座(201)，所述第一連接座(209)頂部固定有Y軸基座(202)，所述Y軸基座(202)頂部中間設置有第二直線導軌(204)，所述第二直線導軌(204)上匹配有用于縱向移動動力輸出的第二直線電機(206)，所述Y軸基座(202)頂部與第二直線導軌(204)平行的兩側分別設置有一個第二滑軌(203)，所述第二滑軌(203)上匹配有第二滑座(205)，所述Y軸基座(202)頂部的一端設置有用于檢測旋轉機構(3)的位移量的第二位移傳感器(207)。