[發(fā)明專利]一種紫外激光應(yīng)用的遠(yuǎn)心F-theta光學(xué)鏡頭

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010056785.X
• 申請日: 2020-01-19
• 公開（公告）號: CN111123480A
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 曾維友;王晴嵐;徐利
• 申請（專利權(quán)）人: 湖北汽車工業(yè)學(xué)院
• 主分類號: G02B13/00
• 分類號: G02B13/00;G02B13/14;G02B13/22
• 代理公司: 北京金智普華知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11401
• 代理人: 楊采良

1.一種紫外激光應(yīng)用的遠(yuǎn)心F-theta光學(xué)鏡頭，其特征在于，所述紫外激光應(yīng)用的遠(yuǎn)心F-theta光學(xué)鏡頭設(shè)置有：

鏡頭本體；

所述鏡頭本體設(shè)置有沿激光入射方向依次排列的第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡和第六透鏡；

所述第一透鏡為彎月型正透鏡，曲面向著光線的入射方向彎曲；

所述第二透鏡為雙凹型負(fù)透鏡；

所述第三透鏡為雙凹型負(fù)透鏡；

所述第四透鏡為彎月型正透鏡，曲面向著光線的入射方向彎曲；

第五透鏡為平凸型正透鏡；

第六透鏡為雙凸型正透鏡；

所述第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡和第六透鏡的焦距與鏡頭本體的焦距分別滿足：0.9f₁/f1.4，-0.7f₂/f-0.3，-1.6f₃/f-1.0，1.1f₄/f1.9，0.7f₅/f1.5，2.2f₆/f3.2，優(yōu)選地，f₁/f＝1.15，f₂/f＝-0.5，f₃/f＝-1.28，f₄/f＝1.47，f₅/f＝1.09，f₆/f＝2.7，其中，f₁為第一透鏡的焦距，f₂為第二透鏡的焦距，f₃為第三透鏡的焦距，f₄為第四透鏡的焦距，f₅為第五透鏡的焦距，f₆為第六透鏡的焦距，f為鏡頭本體的總焦距。

2.如權(quán)利要求1所述的紫外激光應(yīng)用的遠(yuǎn)心F-theta光學(xué)鏡頭，其特征在于，所述鏡頭本體的焦距為105mm，入瞳直徑為9mm，入射光波長為355nm，視場角為ω，其為2ω＝41°，加工區(qū)域為53mm*53mm。

3.如權(quán)利要求1所述的紫外激光應(yīng)用的遠(yuǎn)心F-theta光學(xué)鏡頭，其特征在于，所述第一透鏡的兩個曲面S1、S2的曲率半徑分別為R1＝-128±5mm，R2＝-40±5mm，第一透鏡光軸上的中心厚度d1＝5.2±0.5mm，第一透鏡材料的折射率N_d＝1.46，阿貝數(shù)V_d＝67.82；

第二透鏡的兩個曲面S3、S4的曲率半徑分別為R3＝-25±5mm，R4＝717±5mm，第二透鏡光軸上的中心厚度d3＝2.1±0.5mm，第二透鏡材料的折射率N_d＝1.46，阿貝數(shù)V_d＝67.82。

4.如權(quán)利要求1所述的紫外激光應(yīng)用的遠(yuǎn)心F-theta光學(xué)鏡頭，其特征在于，第三透鏡的兩個曲面S5、S6的曲率半徑分別為R5＝-75±5mm，R6＝433±5mm，第三透鏡光軸上的中心厚度d5＝5.4±0.5mm，第三透鏡材料的折射率N_d＝1.46，阿貝數(shù)V_d＝67.82；

第四透鏡的兩個曲面S7、S8的曲率半徑分別為R7＝-152±5mm，R8＝-50±5mm，第四透鏡光軸上的中心厚度d7＝12.7±0.5mm，第四透鏡材料的折射率N_d＝1.46，阿貝數(shù)V_d＝67.82。

5.如權(quán)利要求1所述的紫外激光應(yīng)用的遠(yuǎn)心F-theta光學(xué)鏡頭，其特征在于，第五透鏡的兩個曲面S9、S10的曲率半徑分別為R9＝∞，R10＝-54±5mm，第五透鏡光軸上的中心厚度d9＝24.2±0.5mm，第五透鏡材料的折射率N_d＝1.46，阿貝數(shù)V_d＝67.82。

6.如權(quán)利要求1所述的紫外激光應(yīng)用的遠(yuǎn)心F-theta光學(xué)鏡頭，其特征在于，第六透鏡的兩個曲面S11、S12的曲率半徑分別為R11＝290±5mm，R12＝-248±5mm，第六透鏡光軸上的中心厚度d11＝10.5±0.5mm，第六透鏡材料的折射率N_d＝1.46，阿貝數(shù)V_d＝67.82。