[發(fā)明專利]一種具有新型抽排腔的浸液供給回收裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010055888.4 | 申請日： | 2020-01-17 |
| 公開（公告）號： | CN113138541B | 公開（公告）日： | 2022-02-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 不公告發(fā)明人 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江啟爾機(jī)電技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州君度專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 朱亞冠 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市臨安市青山湖*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 具有 新型 抽排腔 浸液 供給 回收 裝置 | ||
1.一種具有新型抽排腔的浸液供給回收裝置，包括抽排開口、抽排腔以及密封抽排通道，其特征在于：所述的抽排腔通過多個抽排開口與浸沒流場連通，不同抽排腔連通的抽排開口沿周向交叉排布；抽排腔至少有兩個，每個抽排腔分別通過一個密封抽排通道與浸液回收系統(tǒng)連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有新型抽排腔的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述各個抽排腔與密封抽排通道的連通點沿抽排腔周向均勻布置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有新型抽排腔的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述抽排開口沿抽排腔周向均勻布置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有新型抽排腔的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述抽排腔的垂直于腔內(nèi)流體流動方向的截面線度至少是所述抽排開口直徑的5倍。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的具有新型抽排腔的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述抽排開口的直徑在0.2mm到2mm之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的具有新型抽排腔的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述抽排腔的垂直于腔內(nèi)流體流動方向的截面線度大于2mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有新型抽排腔的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述的抽排腔為環(huán)形。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有新型抽排腔的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述密封抽排通道與所述抽排腔的連通點位于所述浸沒流場沿襯底運動方向的最長弦上。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于浙江啟爾機(jī)電技術(shù)有限公司，未經(jīng)浙江啟爾機(jī)電技術(shù)有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202010055888.4/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
