[發明專利]一種用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置

有效

• 申請號: 202010055886.5
• 申請日: 2020-01-17
• 公開（公告）號: CN113138539B
• 公開（公告）日: 2022-04-26
• 發明（設計）人: 付新;王曉波;吳敏;蘇芮;胡亮
• 申請（專利權）人: 浙江大學;浙江啟爾機電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 杭州君度專利代理事務所(特殊普通合伙) 33240
• 代理人: 朱亞冠

1.一種用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置，包括主體、垂直注液口、抽排腔、注氣口、多個抽排開口和釘扎帶，其特征在于：多個所述抽排開口位于主體朝向襯底的一面，相鄰的抽排開口之間設置釘扎帶；所述釘扎帶具有內釘扎帶和外釘扎帶，所述內釘扎帶相對于外釘扎帶設置于浸液供給回收裝置的徑向外側；所述外釘扎帶阻礙彎液面徑向向外移動，所述內釘扎帶阻礙彎液面徑向向內移動。

2.根據權利要求1所述的用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述內釘扎帶是尖銳邊緣，并且其徑向內側表面距離襯底的高度大于徑向外側表面距離襯底的高度。

3.根據權利要求1所述的用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述外釘扎帶是尖銳邊緣，并且其徑向內側表面距離襯底的高度小于徑向外側表面距離襯底的高度。

4.根據權利要求1所述的用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述內釘扎帶是距離襯底的高度沿徑向向外減小的表面。

5.根據權利要求1所述的用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述外釘扎帶是距離襯底的高度沿徑向向外增大的表面。

6.根據權利要求1至5中任一權利要求所述的用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述內釘扎帶投影于所述抽排開口分布端面是具有負的曲率半徑的曲線。

7.根據權利要求1至5中任一權利要求所述的用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述外釘扎帶投影于所述抽排開口分布端面是具有正的曲率半徑的曲線。

8.根據權利要求1至5中任一權利要求所述的一種用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述釘扎帶距離襯底的高度從沿抽排開口近端至遠端減小。

9.根據權利要求1至5中任一權利要求所述的用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置，其特征在于：所述釘扎帶凸出于所述抽排開口分布端面的高度是所述抽排開口分布端面距離襯底高度的十分之一至二分之一。