[發明專利]一種用于集成電路測試的表面掃描裝置

在審

• 申請號: 202010055705.9
• 申請日: 2020-01-17
• 公開（公告）號: CN111123021A
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 鄭益民;王逸晨;方旭
• 申請（專利權）人: 浙江諾益科技有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01R31/28;G01R29/14;G01R33/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種用于集成電路測試的表面掃描裝置，包括工作臺，所述工作臺頂部的靠中心位置固定安裝有放置板，所述放置板的頂部設置有被測試設備本體，所述被測試設備本體的底部與放置板的頂部接觸，所述工作臺頂部的靠兩側位置均固定連接有支撐板，兩個支撐板的頂部固定連接有頂板。該用于集成電路測試的表面掃描裝置，通過活動板、掃描支架、橫板、旋轉軸、探頭安裝塊和探頭的設計，使得該裝置采用機械定位的方式，擁有高精度的定位系統，保證定位的準確和穩定，使用的定位系統為傳統笛卡爾坐標系，機械定位方式，并添加旋轉軸，實現四軸定位，精度達到萬分之一米級別，磁場探頭和電場探頭設計結構不同，提高了采樣精度。

技術領域

本發明涉及集成電路技術領域，具體為一種用于集成電路測試的表面掃描裝置。

背景技術

集成電路(integrated circuit)是一種微型電子器件或部件。采用一定的工藝，把一個電路中所需的晶體管、電阻、電容和電感等元件及布線互連一起，制作在一小塊或幾小塊半導體晶片或介質基片上，然后封裝在一個管殼內，成為具有所需電路功能的微型結構；其中所有元件在結構上已組成一個整體，使電子元件向著微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面邁進了一大步。它在電路中用字母“IC”表示。集成電路發明者為杰克·基爾比(基于鍺(Ge)的集成電路)和羅伯特·諾伊思(基于硅(Si)的集成電路)。當今半導體工業大多數應用的是基于硅的集成電路。

用于集成電路測試的表面掃描裝置，主要是針對在集成電路電磁兼容測試中，在進行EMI輻射發射測試和EMS輻射抗擾度測試時，需要使用磁場或電場探頭對集成電路表面進行輻射采樣，或是向集成電路表面施加輻射干擾。在這一過程中，需要表面掃描裝置，包含定位系統和探頭兩部分。

傳統的用于集成電路測試的表面掃描裝置大多手工定位不精準、不穩定，后續生成報告比較繁瑣，同時，手工定位采集到的數據只是數字形式，沒有圖片，不直觀。因此，我們提出一種用于集成電路測試的表面掃描裝置。

發明內容

本發明的目的在于提供一種用于集成電路測試的表面掃描裝置，以解決上述背景技術中提出傳統的用于集成電路測試的表面掃描裝置大多手工定位不精準、不穩定，后續生成報告比較繁瑣，同時，手工定位采集到的數據只是數字形式，沒有圖片，不直觀的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種用于集成電路測試的表面掃描裝置，包括工作臺，所述工作臺頂部的靠中心位置固定安裝有放置板，所述放置板的頂部設置有被測試設備本體，所述被測試設備本體的底部與放置板的頂部接觸，所述工作臺頂部的靠兩側位置均固定連接有支撐板，兩個支撐板的頂部固定連接有頂板，所述頂板底部的靠中心位置活動安裝有活動板，所述活動板底部的靠中心位置活動安裝有掃描支架，所述掃描支架前表面的靠頂部位置固定安裝有橫板，所述掃描支架前表面的靠底部位置活動連接有旋轉軸，所述旋轉軸的前端固定安裝有探頭安裝塊，所述探頭安裝塊的靠中心位置活動安裝有探頭，所述探頭通過導線電性連接有探頭適配器，探頭適配器位于工作臺的后端，所述工作臺的底部固定連接有底座。

優選的，所述探頭包括電場探頭和磁場探頭。

優選的，探頭適配器采用通用型設計。

優選的，所述頂板的頂部固定連接有防塵墊。

優選的，所述底座的前表面活動安裝有兩個抽屜，所述抽屜的前表面固定安裝有把手。

優選的，所述底座底部的靠四角位置均固定連接有支撐桿，所述支撐桿的底部固定連接有防滑墊。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：