[發明專利]一種晶圓自動化生產控制系統及方法

在審

• 申請號: 202010051444.3
• 申請日: 2020-01-17
• 公開（公告）號: CN113138586A
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 金星勛
• 申請（專利權）人: 無錫芯享信息科技有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 無錫市朗高知識產權代理有限公司 32262
• 代理人: 趙華

本發明提供一種晶圓自動化生產控制系統及方法，包括1、控制模塊、數據存儲模塊、通訊模塊、檢測模塊、自動化設備平臺和自動化設備；控制模塊進行對自動化設備平臺、數據存儲模塊、通訊模塊和檢測模塊的控制；通訊模塊進行對控制模塊、數據存儲模塊、檢測模塊、自動化設備平臺和自動化設備的數據傳輸；自動化設備平臺進行接收指令對自動化設備進行起閉；自動化設備進行對晶元的各類生產操作；檢測模塊進行對自動化設備生產晶圓的過程和成品的檢測；數據存儲模塊進行對自動化設備平臺、檢測模塊的數據存儲。本發明結構簡單，操作方便，提高自動化監測效果和有效保證數據的安全性。

技術領域

本發明主要涉及晶圓生產檢測領域，尤其涉及一種晶圓自動化生產控制系統及方法。

背景技術

現有的晶圓自動化產線速度快，效率高，但是自動化生產也會存在殘次品，對于殘次品的原因分析有利于改進生產工藝，缺乏實時對產品的生產記錄。

已公開中國發明專利，申請號CN201910707224.9，專利名稱：一種晶圓自動化生產控制系統及方法，申請日：2019-08-01，本發明涉及一種晶圓自動化生產控制系統及方法，該方法包括：MES系統、通訊服務層模塊、機臺自動化平臺和自動化設備，其中，MES系統通過通訊服務層模塊和機臺自動化平臺與自動化設備通信，自動化設備將生產過程中的生產相關信息發送給MES系統；MES系統根據生產相關信息生成第一控制指令并發送給自動化設備。本發明實施例中，自動化設備將生產過程中的生產相關信息發送給MES系統，MES系統根據該生產相關信息生成第一控制指令，對晶圓生產的生產準備階段、生產過程和/或生產產出階段進行控制，提高晶圓生產的自動化和信息化程度，提升晶圓生產機臺效能和產品良率，降低晶圓生產管理成本。

發明內容

本發明提供一種晶圓自動化生產控制系統及方法，針對現有技術的上述缺陷，提供一種晶圓自動化生產控制系統及方法，包括控制模塊、數據存儲模塊、通訊模塊、檢測模塊、自動化設備平臺和自動化設備；

所述控制模塊進行對自動化設備平臺、數據存儲模塊、通訊模塊和檢測模塊的控制；

所述通訊模塊進行對控制模塊、數據存儲模塊、檢測模塊、自動化設備平臺和自動化設備的數據傳輸；

所述自動化設備平臺進行接收指令對自動化設備進行起閉；

所述自動化設備進行對晶元的各類生產操作；

所述檢測模塊進行對自動化設備生產晶圓的過程和成品的檢測；

所述數據存儲模塊進行對自動化設備平臺、檢測模塊的數據存儲。

優選的，數據存儲模塊包括服務器和云端存儲。

優選的，還包括顯示器，所述顯示器上實時顯示檢測模塊的檢測結果。

優選的，還包括聲光報警裝置，所述聲光報警裝置連接在控制模塊上。

優選的，檢測模塊包括照相模塊、測量模塊和比對模塊，經過所述照相模塊采集得到的圖像與設定的標準值通過測量模塊進行數據的提取，然后經過比對模塊進行數據比對，獲得最終結果。

優選的，照相模塊內還包括圖像處理模塊。

一種晶圓自動化生產控制的方法，其特征在于，包括以下工序：

第一步：控制模塊接收命令啟動自動化設備平臺，所述自動化設備平臺通過串口連接命令自動化設備進行晶圓生產；

第二步：自動化設備將生產過程中的生產相關信息發送給所述自動化設備平臺，所述自動化設備平臺將信息反饋給控制模塊；

第三步：控制模塊傳輸命令至檢測模塊進行對晶圓的檢測，所述檢測模塊收集檢測結果；

第四步：檢測模塊經過通信模塊將數據傳輸至數據存儲模塊并存儲；