[發明專利]可調諧法布里-珀羅濾波器元件及其制造方法和光譜儀設備

有效

• 申請號: 202010049694.3
• 申請日: 2020-01-16
• 公開（公告）號: CN111458780B
• 公開（公告）日: 2023-06-13
• 發明（設計）人: T·考茨施
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技德累斯頓公司
• 主分類號: G02B5/28
• 分類號: G02B5/28;G01J3/26
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 黃倩

1.一種可調諧法布里-珀羅FP濾波器元件(100)，包括：

第一FP濾波器堆疊(110)，被布置在可移動的第一載體元件(120)處；以及

第二FP濾波器堆疊(115)，以與所述第一FP濾波器堆疊(110)相對的配置被布置在第二載體元件(125)處，

光電檢測器(210)，在所述第一FP濾波器堆疊(110)和所述第一載體元件(120)之間被布置在所述可移動的第一載體元件(120)處；

其中，在致動時，具有所述第一FP濾波器堆疊(110)的所述第一載體元件(120)相對于具有所述第二FP濾波器堆疊(115)的所述第二載體元件(125)可垂直地移動，用于調整相對的所述第一FP濾波器堆疊(110)和所述第二FP濾波器堆疊(115)之間的距離(d₁)，并且

其中，所述可移動的第一載體元件(120)在懸空硅SON襯底(130)中形成為SON結構，其中，所述SON結構(120)借助于機械彈簧元件(135)相對于所述SON襯底(130)可移動地懸置。

2.根據權利要求1所述的濾波器元件(100)，還包括：

靜電致動器(155)，所述靜電致動器具有第一電極結構(155-1)和第二電極結構(155-2)，用于通過所述第一電極結構(155-1)和所述第二電極結構(155-2)之間的電位差來實現靜電致動。

3.根據權利要求2所述的濾波器元件(100)，其中，所述第一電極結構(155-1)被布置在所述第一載體元件(120)處，并且所述第二電極結構(155-2)被布置在所述第二載體元件(155-2)處。

4.根據權利要求2所述的濾波器元件(100)，其中，所述第一電極結構(155-1)被布置在所述第一載體元件(120)處，并且所述第二電極結構(155-2)被布置為所述SON襯底(130)中的導電區域。

5.根據權利要求2至4中任一項所述的濾波器元件(100)，其中，所述第一電極結構(155-1)和所述第二電極結構(155-2)中的一個電極結構是在所述濾波器堆疊(110、115)中的一個濾波器堆疊內的導電層。

6.根據權利要求1所述的濾波器元件(100)，其中，所述第一載體元件(120)處的所述光電檢測器(210)被集成在所述SON結構(120)的半導體材料中。

7.根據權利要求1所述的濾波器元件(100)，其中，所述第一載體元件(120)處的所述光電檢測器(210)被集成在所述SON結構(120)上外延生長的半導體層中。

8.根據權利要求1或2所述的濾波器元件(100)，其中，所述第一FP濾波器堆疊(110)和所述第二FP濾波器堆疊(115)以面對面的配置被布置。

9.根據權利要求1或2所述的濾波器元件(100)，其中，所述彈簧元件(135)被形成為在所述SON結構(120)和所述SON襯底(130)之間的扭轉和/或彎曲彈簧元件。

10.根據權利要求1或2所述的濾波器元件(100)，其中，蓋元件(150)被布置在所述SON襯底(130)上，用于密封地覆蓋所述SON結構(120)以保持在所述FP濾波器元件內的限定內部壓力。

11.根據權利要求10所述的濾波器元件(100)，還包括：

柱狀元件(160)，其延伸穿過所述可移動的第一載體元件(120)和所述第一FP濾波器堆疊(110)并且在所述SON襯底(130)和所述蓋元件(150)之間，其中，所述柱狀元件(160)機械地耦合在所述SON襯底(130)和所述蓋元件(150)之間，并且與所述可移動的第一載體元件(120)和所述第一FP濾波器堆疊(110)機械地去耦。