[發(fā)明專利]一種線位移傳感器校準高精度調(diào)節(jié)裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010047841.3 | 申請日： | 2020-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN111121689A | 公開（公告）日： | 2020-05-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 佟晨光;曹潔 | 申請（專利權(quán)）人： | 常州檢驗檢測標準認證研究院 |
| 主分類號： | G01B21/02 | 分類號： | G01B21/02 |
| 代理公司： | 北京思創(chuàng)大成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11614 | 代理人： | 尹慧晶 |
| 地址： | 213164 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 位移 傳感器 校準 高精度 調(diào)節(jié) 裝置 | ||
1.一種線位移傳感器校準高精度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，該裝置包括傳感器安裝部件基座(1)和夾具安裝部件移動臺(15)；
所述傳感器安裝部件基座(1)上設(shè)置兩個平行的第一直線導軌(3)和一個微調(diào)螺桿(9)，所述兩個平行的第一直線導軌(3)上設(shè)置滑動底座(5)，所述微調(diào)螺桿(9)通過傳動塊(10)連接至滑動底座(5)靠近微調(diào)螺桿(9)的一端，微調(diào)螺桿(9)通過傳動塊(10)控制滑動底座(5)在第一直線導軌(3)上作位移調(diào)整；所述滑動底座(5)上，從下到上依次設(shè)置垂直調(diào)節(jié)機構(gòu)(6)、平面旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機構(gòu)(7)和傳感器固定平臺(4)，所述傳感器固定平臺(4)上垂直安裝多個壓固件(14)，線位移傳感器(12)通過壓固件(14)固定在傳感器固定平臺(4)上；
所述夾具安裝部件移動臺(15)上從下到上依次設(shè)置第二直線導軌(17)、滑塊(18)和支撐塊(19)，所述支撐塊(19)能夠隨滑塊(18)在第二直線導軌(17)上移動；支撐塊(19)一端端部垂直于支撐塊(19)安裝調(diào)節(jié)輔助尺(22)，平行于支撐塊(19)安裝傳感器連接測桿(20)；所述傳感器連接測桿(20)能夠與線位移傳感器(12)的校準點在同一條直線上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線位移傳感器校準高精度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述傳感器安裝部件基座(1)上設(shè)置一個微調(diào)螺桿固定塊(8)，所述微調(diào)螺桿(9)固定在微調(diào)螺桿固定塊(8)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的線位移傳感器校準高精度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述的傳感器安裝部件基座(1)上開設(shè)若干個呈陣列排布的第一裝配固定孔(2)，所述第一直線導軌(3)和微調(diào)螺桿固定塊(8)通過第一裝配固定孔(2)固定在傳感器安裝部件基座(1)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線位移傳感器校準高精度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述滑動底座(5)的兩端高于中間部位，中間部位形成凹槽結(jié)構(gòu)，滑動底座(5)的兩端分別固定在兩個平行的第一直線導軌(3)上，所述垂直調(diào)節(jié)機構(gòu)(6)、平面旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機構(gòu)(7)和傳感器固定平臺(4)從下到上依次設(shè)置在凹槽結(jié)構(gòu)中。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線位移傳感器校準高精度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述傳感器固定平臺(4)上設(shè)置傳感器墊塊(13)，所述線位移傳感器(12)通過壓緊壓固件(14)固定在傳感器墊塊(13)和壓固件(14)之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線位移傳感器校準高精度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述傳感器固定平臺(4)上開設(shè)若干個呈陣列排布的第二裝配固定孔(11)；所述壓固件(14)通過安裝在第二裝配固定孔(11)中固定多種規(guī)格的線位移傳感器(12)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線位移傳感器校準高精度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述夾具安裝部件移動臺(15)離傳感器安裝部件基座(1)較遠的一端端部設(shè)置激光干涉儀反涉鏡(21)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的線位移傳感器校準高精度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，該裝置還包括組件固定臺(23)，組件固定臺(23)在靠近激光干涉儀反涉鏡(21)的一側(cè)；所述的組件固定臺(23)上設(shè)置激光干涉鏡與反射鏡組件(24)，激光干涉鏡與反射鏡組件(24)、激光干涉儀反涉鏡(21)和傳感器連接測桿(20)的中心線重合。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線位移傳感器校準高精度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述夾具安裝部件移動臺(15)上離傳感器安裝部件基座(1)較近的一端設(shè)置連接件(16)，第二直線導軌(17)通過連接件(16)安裝在夾具安裝部件移動臺(15)上。
10.根據(jù)權(quán)利要9所述的線位移傳感器校準高精度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述的夾具安裝部件移動臺(15)中部橫向設(shè)置兩個凸起，兩個凸起之間為凹槽，所述的激光干涉儀反涉鏡(21)安裝在凹槽中，所述的連接件(16)安裝在凹槽兩側(cè)的凸起上。
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