[發(fā)明專利]一種用于硅片加工的燒結(jié)爐帶清潔裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010042524.2
• 申請(qǐng)日: 2020-01-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111250447A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張利紅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 張利紅
• 主分類號(hào): B08B1/04
• 分類號(hào): B08B1/04;B08B5/02;B08B13/00
• 代理公司: 北京艾皮專利代理有限公司 11777
• 代理人: 郭童瑜

1.一種用于硅片加工的燒結(jié)爐帶清潔裝置，包括清潔臺(tái)（1），其特征在于，所述清潔臺(tái)（1）底部外壁的四個(gè)拐角處均設(shè)置有支撐腿（2），所述清潔臺(tái)（1）的頂部外壁開(kāi)有清潔槽（7），且清潔槽（7）的頂部外壁開(kāi)有排渣口（6），所述清潔臺(tái)（1）頂部外壁的四個(gè)拐角處均通過(guò)螺栓連接有電動(dòng)伸縮桿（11），且電動(dòng)伸縮桿（11）的活塞一端設(shè)置有頂板（12），所述頂板（12）的頂部外壁開(kāi)有凹孔，且凹孔的內(nèi)壁通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)管（15），所述轉(zhuǎn)動(dòng)管（15）的底部外壁焊接有轉(zhuǎn)盤(pán)（9），且轉(zhuǎn)盤(pán)（9）的底部外壁設(shè)置有多個(gè)毛刷（8），所述轉(zhuǎn)盤(pán)（9）的內(nèi)部設(shè)置有空腔，且轉(zhuǎn)盤(pán)（9）的底部外壁開(kāi)有多個(gè)吹氣孔（10），吹氣孔（10）的橫截面為扇形，所述頂板（12）的頂部外壁通過(guò)螺栓連接有第一電機(jī)（18），且第一電機(jī)（18）的輸出軸一端設(shè)置有主動(dòng)齒輪（17），所述轉(zhuǎn)動(dòng)管（15）的外壁設(shè)置有從動(dòng)齒輪（16），且從動(dòng)齒輪（16）的外壁和主動(dòng)齒輪（17）的外壁相嚙合，所述頂板（12）的頂部外壁通過(guò)螺栓連接有鼓風(fēng)機(jī)（13），且鼓風(fēng)機(jī)（13）的頂部外壁通過(guò)螺栓連接有導(dǎo)風(fēng)管（14），且導(dǎo)風(fēng)管（14）的外壁和轉(zhuǎn)動(dòng)管（15）的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片加工的燒結(jié)爐帶清潔裝置，其特征在于，所述排渣口（6）的兩側(cè)內(nèi)壁均開(kāi)有安裝槽（3），且安裝槽（3）的內(nèi)壁設(shè)置有彈簧（4），彈簧（4）的一端外壁焊接有滑桿（5），滑桿（5）的底部外壁焊接有握把（19）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于硅片加工的燒結(jié)爐帶清潔裝置，其特征在于，所述滑桿（5）的頂部外壁開(kāi)有限位孔，且限位孔的內(nèi)壁設(shè)置有橡膠圈（20），橡膠圈（20）的內(nèi)壁滑動(dòng)連接有限位桿（21），限位桿（21）的底部焊接有擋塊（22）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于硅片加工的燒結(jié)爐帶清潔裝置，其特征在于，所述電動(dòng)伸縮桿（11）、鼓風(fēng)機(jī)（13）和第一電機(jī)（18）均通過(guò)導(dǎo)線連接有開(kāi)關(guān)，且開(kāi)關(guān)通過(guò)導(dǎo)線連接有電源。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的一種用于硅片加工的燒結(jié)爐帶清潔裝置，其特征在于，所述支撐腿（2）的一側(cè)外壁設(shè)置有支撐板（23），且支撐板（23）的頂部外壁放置有集渣箱（24），集渣箱（24）的一側(cè)外壁開(kāi)有導(dǎo)渣口（25）。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于硅片加工的燒結(jié)爐帶清潔裝置，其特征在于，所述集渣箱（24）的一側(cè)外壁通過(guò)螺栓連接有第二電機(jī)（26），且第二電機(jī)（26）的輸出軸一端設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)軸（27）。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于硅片加工的燒結(jié)爐帶清潔裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸（27）的底部外壁設(shè)置有等距離分布的耳座（28），且耳座（28）的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿（29），轉(zhuǎn)動(dòng)桿（29）的一端外壁焊接有擊打球（30）。