[發(fā)明專利]代替藍(lán)寶石襯底晶片酸洗的清洗工藝有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010039168.9 | 申請日： | 2020-01-14 |
| 公開（公告）號： | CN111185432B | 公開（公告）日： | 2021-03-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 高長有;劉敏;陳志敏;張頊 | 申請（專利權(quán)）人： | 江蘇京晶光電科技有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/08 | 分類號： | B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02;B08B1/00;B08B7/04;H01L21/02;H01L33/00;F26B11/02;F26B3/30 |
| 代理公司： | 南京行高知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32404 | 代理人： | 肖念 |
| 地址： | 213300 江蘇省常*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 代替 藍(lán)寶石 襯底 晶片 酸洗 清洗 工藝 | ||
1.一種代替藍(lán)寶石襯底晶片酸洗的清洗工藝，其特征在于，包括以下
步驟：
步驟一：將已單面拋光的藍(lán)寶石襯底晶片裝入制程晶周盒，再將制程晶周盒置于純水槽中；
步驟二：對步驟一中的藍(lán)寶石襯底晶片的表面進(jìn)行刷洗；
步驟三：將步驟二處理完的藍(lán)寶石襯底晶片傳送噴淋；
步驟四：將步驟三處理完的藍(lán)寶石襯底晶片放入乳化池中浸泡；
步驟五：將步驟四處理完的藍(lán)寶石襯底晶片放入第一堿性清洗劑超聲清洗槽
中，進(jìn)行超聲清洗，所述第一堿性清洗劑的活性成份為有機(jī)堿和復(fù)合活性劑；
步驟六：將步驟五處理完的藍(lán)寶石襯底晶片放入第一超純水清洗槽中進(jìn)行清洗；
步驟七：將步驟六處理完的藍(lán)寶石襯底晶片放入現(xiàn)制備的臭氧水中進(jìn)行清洗；
步驟八：將步驟七處理完的藍(lán)寶石襯底晶片放入第二超純水清洗槽中進(jìn)行清洗；
步驟九：將步驟八處理完的藍(lán)寶石襯底晶片放入第二堿性清洗劑超聲清洗槽
中，進(jìn)行超聲清洗，所述第二堿性清洗劑的活性成份為無機(jī)堿、復(fù)合活性劑和絡(luò)合劑；
步驟十：將步驟九處理完的藍(lán)寶石襯底晶片放入第三超純水清洗槽中進(jìn)行清洗；
步驟十一：將步驟十處理完的藍(lán)寶石襯底晶片放入異丙醇脫水槽中靜置，靜置完成后進(jìn)行慢拉脫水；
步驟十二：將步驟十一處理完的藍(lán)寶石襯底晶片放入成品晶周盒中，密封保存。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的代替藍(lán)寶石襯底晶片酸洗的清洗工藝，其特征在于：所述步驟二中的刷洗，刷片時間為30-40s，純水的溫度控制在35°C~40°C。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的代替藍(lán)寶石襯底晶片酸洗的清洗工藝，其特征在于：所述步驟三中的噴淋，使用超純水對藍(lán)寶石襯底晶片進(jìn)行噴淋，噴頭角度傾斜15-20°，噴淋時間為20-30s。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的代替藍(lán)寶石襯底晶片酸洗的清洗工藝，其特征在于：所述步驟四中的乳化池，乳化劑溶液的濃度為0.1~0.2wt%，藍(lán)寶石襯底晶片的浸泡時間為20-30min；
所述乳化劑為脂肪醇聚氧乙烯醚、異十三醇聚氧乙烯醚和月桂醇聚氧乙烯醚中的至少一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的代替藍(lán)寶石襯底晶片酸洗的清洗工藝，其特征在于：所述步驟五中的第一堿性清洗劑的濃度為10~20wt%，溫度為65±2℃，清洗時間為15-25min；
所述有機(jī)堿在清洗劑中所占體積分?jǐn)?shù)為10-15%，所述復(fù)合活性劑在清洗劑中所占體積分?jǐn)?shù)為3-5%；
所述有機(jī)堿為烷基胺、甲醇鈉、丁基鋰中的至少一種，所述復(fù)合活性劑為聚氧乙基烷基苯基醚、聚氧乙基烷基醚、聚氧乙基脂肪酸醚酯中的至少一種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的代替藍(lán)寶石襯底晶片酸洗的清洗工藝，其特征在于：所述步驟六的第一超純水清洗槽內(nèi)的溫度為20~30℃，每分鐘上下拋動30-50次，清洗時間為15-25min。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的代替藍(lán)寶石襯底晶片酸洗的清洗工藝，其特征在于：所述步驟七中的臭氧水采用強(qiáng)激勵方法進(jìn)行現(xiàn)制備，所述臭氧水在制備后的1-5min內(nèi)投入使用，臭氧濃度≥30mg/L，清洗時間為5-10min，所述臭氧水中加入催化劑。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的代替藍(lán)寶石襯底晶片酸洗的清洗工藝，其特征在于：所述催化劑為金屬氧化物，金屬氧化物的濃度為0.1-1wt%。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的代替藍(lán)寶石襯底晶片酸洗的清洗工藝，其特征在于：所述步驟八的第二超純水清洗槽內(nèi)的溫度為20~30℃，每分鐘上下拋動30-50次，清洗時間為15-25min。
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