[發明專利]掩膜版及制備方法

在審

• 申請號: 202010025609.X
• 申請日: 2020-01-10
• 公開（公告）號: CN111235525A
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發明（設計）人: 王夢凡;陳濤
• 申請（專利權）人: 合肥維信諾科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 北京華進京聯知識產權代理有限公司 11606
• 代理人: 方曉燕

本申請涉及一種掩膜版及制備方法。掩膜版包括：框架、支撐條以及掩膜條。支撐條具有第一安裝部。掩膜條具有第一固定部。第一安裝部與第一固定部的形狀匹配，以固定掩膜條。本實施例中，支撐條與掩膜條的重疊區域通過第一安裝部與第一固定部固定連接，可減小掩膜條的偏移，解決由于掩膜條流動導致的顯示面板混色不良，提高產品良率。同時，支撐條與掩膜條的重疊區域通過第一安裝部與第一固定部固定連接，可達到對掩膜版整體加固的效果，降低掩膜版在運輸、清洗、對位、貼合等過程中發生振動損傷的風險，延長使用壽命，降低生產成本。

技術領域

本申請涉及顯示技術領域，特別是涉及掩膜版及制備方法。

背景技術

在有機發光顯示器件的制備過程中，有機材料通過高溫蒸鍍沉積在位于蒸發源上方的基板上，為使有機材料按照設計蒸鍍到特定的位置上，在基板下方需使用掩膜版。掩膜版上留有預先設計好的掩膜開口區域，通過該掩膜開口區域將有機材料沉積到基板上面，形成預設圖形。掩膜版上掩膜開口區域的位置變化直接影響鍍膜的精度。

發明內容

基于此，有必要針對在蒸鍍過程中，掩膜版上掩膜開口區域的位置變化直接影響鍍膜精度的問題，提供一種掩膜版及制備方法。

本申請提供一種掩膜版，包括：

框架；

多個支撐條，沿第二方向延伸設置于所述框架，所述多個支撐條平行間隔設置；所述支撐條具有第一安裝部，以及

多個掩膜條，沿所述第一方向延伸設置于所述框架，所述多個掩膜條平行間隔設置，所述第一方向與所述第二方向垂直；所述掩膜條具有第一固定部，所述第一安裝部與所述第一固定部的形狀匹配。

在一個實施例中，所述第一安裝部具有相對于所述支撐條平面的凹陷區域。

在一個實施例中，所述凹陷區域的深度等于所述掩膜條在所述支撐條與所述掩膜條層疊方向的厚度的一半。

在一個實施例中，所述第一安裝部具有增加與所述第一固定部接觸面積的第一邊緣。

在一個實施例中，所述掩膜條包括：多個掩膜部，至少一個所述掩膜部完全嵌入所述支撐條。

在一個實施例中，完全嵌入所述支撐條的所述掩膜部具有與所述支撐條和所述掩膜條層疊方向呈第一角度的邊緣，所述支撐條具有與所述掩膜部形狀匹配的邊緣；或者

完全嵌入所述支撐條的所述掩膜部具有臺階狀的邊緣；所述支撐條具有與所述掩膜部形狀匹配的邊緣。

在一個實施例中，所述掩膜版還包括：

第一焊接部，形成于所述掩膜條與所述支撐條的重疊區域。

在一個實施例中，所述掩膜版還包括：

多個遮擋條，沿所述第一方向延伸設置于所述框架，所述多個遮擋條平行間隔設置。

在一個實施例中，所述遮擋條、所述支撐條和所述掩膜條依次層疊設置。

一種掩膜版的制備方法，包括以下步驟：

S10，提供框架；

S20，提供多個支撐條，對所述支撐條進行半刻蝕或圖案化刻蝕，以形成第一安裝部，并將所述多個支撐條沿第二方向延伸設置于所述框架，所述多個支撐條平行間隔設置；

S30，提供多個掩膜條，并將所述多個掩膜條沿第一方向延伸設置于所述框架，所述第一方向與所述第二方向垂直；所述掩膜條具有第一固定部，所述多個掩膜條設置于所述框架時，所述第一安裝部與所述第一固定部的形狀匹配，以固定所述掩膜條。