[發明專利]鍍膜設備

在審

• 申請號: 202010025246.X
• 申請日: 2020-01-10
• 公開（公告）號: CN111020527A
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 吳蘭峰;盧林;蔣秀林
• 申請（專利權）人: 晶澳（揚州）太陽能科技有限公司
• 主分類號: C23C16/30
• 分類號: C23C16/30;C23C16/56;C23C16/02;C23C16/54
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 徐穎聰

1.一種鍍膜設備，其特征在于，包括：

鍍膜裝置，所述鍍膜裝置用于在被鍍膜件的表面進行鍍膜；

退火裝置，所述退火裝置用于對表面鍍膜的被鍍膜件進行退火處理；

輸送機構，所述輸送機構用于輸送所述被鍍膜件依次通過所述鍍膜裝置以及所述退火裝置。

2.根據權利要求1所述的鍍膜設備，其特征在于，所述輸送機構為鏈式爐帶傳動機構，所述鏈式爐帶傳動機構的鏈式爐帶依次穿過所述鍍膜裝置和所述退火裝置。

3.根據權利要求2所述的鍍膜設備，其特征在于，所述鍍膜裝置包括：

第一加熱機構和第二加熱機構，所述第一加熱機構和第二加熱機構相對設置于所述鏈式爐帶的兩側；

進氣管道，所述進氣管道用于向所述鍍膜裝置中通入成膜氣體。

4.根據權利要求3所述的鍍膜設備，所述進氣管道包括氧氣進氣管道，磷烷或硼烷進氣管道，硅烷進氣管道。

5.根據權利要求3所述的鍍膜設備，其特征在于，所述鍍膜裝置還包括第一抽風管道，所述第一抽風管道用于抽離所述鍍膜裝置中的廢氣。

6.根據權利要求2所述的鍍膜設備，其特征在于，所述退火裝置包括：

第三加熱機構和第四加熱機構，所述第三加熱機構和第四加熱機構相對設置于所述鏈式爐帶的兩側。

7.根據權利要求2所述的鍍膜設備，其特征在于，所述鍍膜設備還包括用于對所述鏈式爐帶進行清洗的清洗裝置，所述清洗裝置通過所述鏈式爐帶連接于所述退火裝置，所述清洗裝置包括：

第一噴淋機構和第二噴淋機構，所述第一噴淋機構和所述第二噴淋機構用于清洗所述鏈式爐帶；

鋼絲刷機構，所述鋼絲刷機構位于所述第一噴淋機構和所述第二噴淋機構之間，用于刷洗所述鏈式爐帶的表面；所述清洗裝置中還設置有第二抽風管道，所述第二抽風管道位于所述第二噴淋機構的一側，用于對清洗后的鏈式爐帶進行抽風。

8.根據權利要求7所述的鍍膜設備，其特征在于，所述鍍膜設備還包括對所述鏈式爐帶進行預熱的預熱裝置，所述預熱裝置通過所述鏈式爐帶連接于所述清洗裝置，所述預熱裝置包括：

第五加熱機構和第六加熱機構，所述第五加熱機構和第六加熱機構相對設置于所述鏈式爐帶的兩側。

9.根據權利要求8所述的鍍膜設備，其特征在于，所述預熱裝置還在進入第五加熱機構和第六加熱機構前設置有第三抽風管道，所述第三抽風管道用于對清洗后的所述鏈式爐帶蒸發的水汽進行抽離。

10.根據權利要求7所述的鍍膜設備，其特征在于，所述鍍膜設備還包括通過所述鏈式爐帶連接于所述退火裝置和所述清洗裝置之間的冷卻裝置，所述冷卻裝置用于對所述鏈式爐帶輸送的所述被鍍膜件進行降溫，所述冷卻裝置包括熱交換器。