[發明專利]長晶爐及晶體生長系統

有效

• 申請號: 202010015477.2
• 申請日: 2020-01-07
• 公開（公告）號: CN113151894B
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發明（設計）人: 張巖;趙子強;李憲賓;鄧少奎;鮑慧強;陳菲菲
• 申請（專利權）人: 中科鋼研節能科技有限公司
• 主分類號: C30B23/00
• 分類號: C30B23/00;C30B29/36
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283
• 代理人: 林治辰;邱成杰

1.一種晶體生長系統，其特征在于，所述晶體生長系統包括吊裝裝置以及長晶爐；

所述長晶爐包括爐體(110)、蓋體(120)以及驅動組件；

所述爐體(110)具有能夠容納坩堝的腔室，所述爐體(110)的頂部開設有與所述腔室連通的通孔；

所述蓋體(120)設置在所述爐體(110)的頂部，所述蓋體(120)與所述驅動組件連接，所述驅動組件能夠驅動所述蓋體(120)在關閉所述通孔的遮擋位置以及讓開所述通孔的打開位置之間移動；

其中，所述蓋體(120)設置為：所述蓋體(120)位于所述打開位置時能夠允許所述坩堝豎直地通過所述通孔以使所述坩堝在所述腔室和外界之間移動；

所述吊裝裝置設置為能夠吊起所述坩堝并驅使所述坩堝在所述腔室和外界之間移動；

其中，所述吊裝裝置包括立桿(210)、吊臂(220)、繩索(230)、吊環(240)以及繩索收放組件(250)，所述立桿(210)沿豎直方向設置，所述吊臂(220)垂直地設置在所述立桿(210)上并能夠繞所述立桿(210)轉動，所述吊環(240)設置在所述繩索(230)的一端并垂吊在所述吊臂(220)遠離所述立桿(210)的一端，所述吊環(240)設置為能夠與所述坩堝連接，所述繩索收放組件(250)設置在所述吊臂(220)的另一端，所述繩索收放組件(250)與所述繩索(230)的另一端連接以能夠卷繞或釋放所述繩索(230)。

2.根據權利要求1所述的晶體生長系統，其特征在于，所述遮擋位置與所述打開位置處于第一平面，所述第一平面與所述爐體(110)的頂面相平行。

3.根據權利要求2所述的晶體生長系統，其特征在于，所述驅動組件包括能夠在所述第一平面內擺動的擺桿(131)，所述蓋體(120)與所述擺桿(131)連接以能夠在所述遮擋位置和所述打開位置之間移動。

4.根據權利要求3所述的晶體生長系統，其特征在于，所述驅動組件包括能夠沿豎直方向移動的升降桿(132)，所述升降桿(132)與所述擺桿(131)連接以帶動所述擺桿(131)沿豎直方向靠近或遠離所述爐體(110)的頂面。

5.根據權利要求4所述的晶體生長系統，其特征在于，所述通孔的邊沿設置有定位釘，所述定位釘豎直設置并且向背離所述腔室的方向延伸；所述蓋體(120)上設置有定位孔(121)，所述定位孔(121)設置為能夠與所述定位釘配合以將所述蓋體(120)限制在所述遮擋位置。

6.根據權利要求4所述的晶體生長系統，其特征在于，所述長晶爐包括沿豎直方向固定設置的導向柱(140)，所述升降桿(132)上開設有與所述導向柱(140)相匹配的導向孔，所述升降桿(132)能夠通過所述導向柱(140)與所述導向孔的配合沿所述導向柱(140)的長度方向移動。

7.根據權利要求1-6中任意一項所述的晶體生長系統，其特征在于，所述爐體(110)的底部設有開口以及底蓋，所述開口與所述腔室連通，所述底蓋設置為能夠打開或關閉所述開口以能夠允許所述坩堝從所述開口進入所述腔室。

8.根據權利要求1所述的晶體生長系統，其特征在于，所述吊裝裝置包括沿所述吊臂(220)的長度方向可移動地設置在所述吊臂(220)上的位移組件(260)，所述吊環(240)通過所述繩索(230)垂吊在所述位移組件(260)的下方。