[發(fā)明專利]正性光刻膠用聚酰亞胺樹脂及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010011460.X | 申請日: | 2020-01-09 |
| 公開(公告)號: | CN111423582B | 公開(公告)日: | 2023-04-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 請求不公布姓名 | 申請(專利權(quán))人: | 上海極紫科技有限公司 |
| 主分類號: | C08G73/10 | 分類號: | C08G73/10;G03F7/004;G03F7/039 |
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| 地址: | 201805 上海市嘉*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 光刻 聚酰亞胺 樹脂 及其 制備 方法 | ||
1.用于制備正性光刻膠用聚酰亞胺樹脂的方法,其特征在于,包括以下步驟:
(1)在氮氣保護下,向干燥的100mL三頸瓶中依次加入2.577g?4,4'-雙(4-氨基苯氧基)-2,2'-雙(3-羧基丙氧基)聯(lián)苯、0.146g?1,3-二(4-氨基苯氧基)苯和25mL?N,N-二甲基乙酰胺,室溫下磁力攪拌,待單體完全溶解后,向反應(yīng)瓶中加入2.22g?4,4’-(六氟異丙基)二鄰苯二甲酸酐,室溫下反應(yīng)8小時,形成高度粘稠的聚酰胺酸前驅(qū)體;和
(2)然后,向反應(yīng)瓶中緩慢滴加由3mL三乙胺和2.7mL乙酸酐組成的混合溶液,室溫下繼續(xù)反應(yīng)24小時;將所得到的高度粘稠的聚酰亞胺溶液緩慢倒入150mL甲醇中,抽濾,收集絲狀固體,并用甲醇洗滌三次,于60℃真空下干燥10小時,得到所述正性光刻膠用聚酰亞胺樹脂。
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