[發(fā)明專利]電漿調(diào)節(jié)組件與感應(yīng)耦合電漿蝕刻設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010008918.6
• 申請(qǐng)日: 2020-01-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113078076A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林俊成;王俊富;鄭立易;沈佑德;鄭耀璿
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天虹科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01J37/32
• 代理公司: 深圳市金筆知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 44297
• 代理人: 趙南陽(yáng)

1.一種用于對(duì)基材蝕刻的電漿調(diào)節(jié)組件，其特征在于，包括：

一介電板；

一線圈，位于所述介電板的一側(cè)；以及

至少一分流組件；

其中在所述線圈通電產(chǎn)生電磁感應(yīng)時(shí)，所述介電板的相對(duì)于所述線圈的另一側(cè)產(chǎn)生電漿以對(duì)所述基材進(jìn)行蝕刻，其中所述分流組件的兩端電性連接所述線圈的兩處，以調(diào)整電磁感應(yīng)的強(qiáng)弱使所述電漿對(duì)所述基材蝕刻時(shí)的蝕刻均勻度受到調(diào)節(jié)。

2.如權(quán)利要求1所述的電漿調(diào)節(jié)組件，其特征在于，其中所述線圈的一內(nèi)圈與一外圈之間的距離可被調(diào)整，以調(diào)整電磁感應(yīng)的強(qiáng)弱使所述電漿對(duì)所述基材蝕刻時(shí)的蝕刻均勻度受到調(diào)節(jié)。

3.如權(quán)利要求1所述的電漿調(diào)節(jié)組件，其特征在于，其中所述線圈為一體成型或包括復(fù)數(shù)個(gè)可動(dòng)關(guān)節(jié)。

4.如權(quán)利要求1所述的電漿調(diào)節(jié)組件，其特征在于，更包括：

一電感器或一電容器，連接所述線圈的其中一處，用以平衡所述電漿調(diào)節(jié)組件的功率匹配。

5.如權(quán)利要求1所述的電漿調(diào)節(jié)組件，其特征在于，更包括：

至少一固定架，用以支撐所述線圈，其中一個(gè)或多個(gè)所述固定架為可調(diào)式固定架，用以調(diào)整所述線圈與所述介電板之間的距離或所述線圈的所述內(nèi)圈與所述外圈之間的距離。

6.如權(quán)利要求1所述的電漿調(diào)節(jié)組件，其特征在于，其中所述介電板的材質(zhì)為陶瓷、鍍有金屬層的陶瓷、石英或鍍有金屬層的石英。

7.一種用于對(duì)基材蝕刻的電漿調(diào)節(jié)組件，包括：

一介電板；以及

一線圈，位于所述介電板的一側(cè)；

其中在所述線圈通電產(chǎn)生電磁感應(yīng)時(shí)，所述線圈的一內(nèi)圈與一外圈之間的距離可被調(diào)整，使所述線圈的不同區(qū)域的所述內(nèi)圈與所述外圈之間的距離為不等距，以調(diào)整電磁感應(yīng)的強(qiáng)弱使所述電漿對(duì)所述基材蝕刻時(shí)的蝕刻均勻度受到調(diào)節(jié)。

8.如權(quán)利要求7所述的電漿調(diào)節(jié)組件，其特征在于，其中所述線圈為一體成型或包括復(fù)數(shù)個(gè)可動(dòng)關(guān)節(jié)。

9.如權(quán)利要求7所述的電漿調(diào)節(jié)組件，其特征在于，更包括：

一電感器或一電容器，連接所述線圈的其中一處，用以平衡所述電漿調(diào)節(jié)組件的功率匹配。

10.一種感應(yīng)耦合電漿蝕刻設(shè)備，其特征在于，包括：如權(quán)利要求1至9任意一項(xiàng)所述的電漿調(diào)節(jié)組件，

一供電裝置，用以提供電力來(lái)源給所述電漿調(diào)節(jié)組件；以及

一反應(yīng)腔體，以使一基材受所述電漿調(diào)節(jié)組件提供的電漿蝕刻。