[其他]壓電致動(dòng)器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201990000515.8
• 申請(qǐng)日: 2019-02-28
• 公開（公告）號(hào): CN212725369U
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山川慶之;后藤征士朗;川田慎一郎;林繁利;藤田章雄;中村悠佑
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社村田制作所
• 主分類號(hào): H01L41/297
• 分類號(hào): H01L41/297;H01L41/083;H01L41/09;H01L41/187;H01L41/293
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 樸云龍

1.一種壓電致動(dòng)器，具備：

層疊體，包含層疊的多個(gè)壓電陶瓷層和多個(gè)平面電極，并具有在層疊方向上相對(duì)的一對(duì)主面、在與所述層疊方向正交的長(zhǎng)度方向上相對(duì)的一對(duì)端面、在與所述層疊方向以及所述長(zhǎng)度方向的雙方正交的寬度方向上相對(duì)的一對(duì)側(cè)面；

低電位用外部電極，設(shè)置在所述層疊體的一個(gè)端面上，用于施加第1電位；以及

高電位用外部電極，設(shè)置在所述層疊體的另一個(gè)端面上，用于施加比所述第1電位高的第2電位，

所述壓電致動(dòng)器的特征在于，

所述第1電位以及所述第2電位的極性相同或一者為地，

所述平面電極包含：

低電位用平面電極，與所述低電位用外部電極電連接；以及

高電位用平面電極，與所述高電位用外部電極電連接，

所述低電位用平面電極和所述高電位用平面電極交替地位于所述層疊方向上，其中，位于所述層疊體的內(nèi)部的平面電極以Ni為主成分，

所述壓電陶瓷層以具有鈣鈦礦構(gòu)造的堿金屬鈮酸鹽化合物或鈦酸鋇化合物為主成分，且在所述低電位用平面電極和所述高電位用平面電極對(duì)置的區(qū)域中具有從所述低電位用平面電極側(cè)朝向所述高電位用平面電極側(cè)極化的活性區(qū)域，

在所述層疊體的一個(gè)主面中，位于最外側(cè)的平面電極為低電位用平面電極，該低電位用平面電極的內(nèi)側(cè)與所述活性區(qū)域的極化的“-”側(cè)相接，該低電位用平面電極的外側(cè)露出在外部，

在所述層疊體的另一個(gè)主面中，高電位用平面電極不露出在外部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電致動(dòng)器，其特征在于，

在所述層疊體的另一個(gè)主面中，位于最外側(cè)的平面電極為低電位用平面電極，該低電位用平面電極的內(nèi)側(cè)與所述活性區(qū)域的極化的“-”側(cè)相接，該低電位用平面電極的外側(cè)露出在外部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電致動(dòng)器，其特征在于，

在所述層疊體的另一個(gè)主面中，位于最外側(cè)的平面電極為低電位用平面電極，該低電位用平面電極的內(nèi)側(cè)與所述活性區(qū)域的極化的“-”側(cè)相接，該低電位用平面電極的外側(cè)與所述壓電陶瓷層相接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電致動(dòng)器，其特征在于，

在所述層疊體的另一個(gè)主面中，位于最外側(cè)的平面電極為高電位用平面電極，該高電位用平面電極的內(nèi)側(cè)與所述活性區(qū)域的極化的“+”側(cè)相接，該高電位用平面電極的外側(cè)與所述壓電陶瓷層相接。