[發明專利]模塊化和平鋪式光學傳感器在審
| 申請號： | 201980093360.1 | 申請日： | 2019-04-30 |
| 公開（公告）號： | CN113454776A | 公開（公告）日： | 2021-09-28 |
| 發明（設計）人： | A·戈夫亞迪諾夫;B·E·達爾格倫;B·J·基夫 | 申請（專利權）人： | 惠普發展公司;有限責任合伙企業 |
| 主分類號： | H01L25/00 | 分類號： | H01L25/00;G01N21/64 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李雪娜;陳嵐 |
| 地址： | 美國德*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 模塊化 平鋪 光學 傳感器 | ||
一種示例設備包括傳感器模塊陣列。傳感器模塊包括與平面靶標對齊定位的主體、耦合到主體以沿著源光學路徑向平面靶標發射光的光源、以及耦合到主體的多個光傳感器。每個光傳感器要沿著傳感器光學路徑感測從平面靶標接收的不同波長的光。傳感器光學路徑與源光學路徑不同。傳感器模塊陣列的主體關于平面靶標的縱向軸線以平面平鋪圖案布置。
背景技術
光學傳感器經常用于監測其中光學特性的改變指示過程的改變的過程。光學傳感器可以用于監測生物、化學或生化過程，其中向過程提供照明以觸發傳感器可檢測的響應。
附圖說明
圖1是包括關于平面靶標的縱向軸線以平面平鋪圖案布置的傳感器模塊的示例設備的平面視圖。
圖2是包括關于包括反應腔室和加熱器的平面靶標的縱向軸線以平面平鋪圖案布置的傳感器模塊的示例設備的平面視圖。
圖3是沿圖2的示例傳感器模塊的剖面線A-A截取的橫截面視圖。
圖4是包括以與平面靶標平行延伸的平面平鋪圖案布置的傳感器模塊的示例設備的平面視圖。
圖5是包括以交錯的平面平鋪圖案布置的傳感器模塊的示例設備的平面視圖。
圖6是具有非對稱光學布置的示例傳感器模塊的橫截面視圖。
圖7是包括以交錯的平面平鋪圖案布置的圖6的非對稱傳感器模塊的示例設備的平面視圖。
圖8是包括以交錯的平面平鋪圖案布置的對稱和非對稱傳感器模塊的示例設備的平面視圖。
圖9是包括以平面平鋪圖案布置的三角形傳感器模塊的示例設備的平面視圖。
圖10是包括關于多個平面靶標以平面平鋪圖案布置的三角形傳感器模塊的示例設備的平面視圖。
圖11是包括以平面平鋪圖案布置的十字形傳感器模塊的示例設備的平面視圖。
圖12是包括關于多個平面靶標以平面平鋪圖案布置的十字形傳感器模塊的示例設備的平面視圖。
圖13是包括以平面平鋪圖案布置的六角形傳感器模塊的示例設備的平面視圖。
圖14是包括關于多個平面靶標以平面平鋪圖案布置的六角形傳感器模塊的示例設備的平面視圖。
圖15是包括以平面平鋪圖案布置的傳感器模塊的示例設備的平面視圖，所述傳感器模塊包括多個對稱光源。
圖16是沿圖15的示例傳感器模塊的剖面線E-E截取的橫截面視圖。
圖17是具有照明光學器件以照明多個靶標的示例傳感器模塊的橫截面視圖。
圖18是包括以平面平鋪圖案布置的傳感器模塊的示例設備的平面視圖，所述傳感器模塊包括多個非對稱光源。
圖19是沿圖18的示例傳感器模塊的剖面線E-E截取的橫截面視圖。
圖20是包括以平面平鋪圖案布置的傳感器模塊的示例設備的平面視圖，所述傳感器模塊包括多個非對稱光源。
圖21是包括熒光檢測器的示例系統的透視圖，所述熒光檢測器包括以平面平鋪圖案布置的傳感器模塊陣列。
圖22是制造光學感測設備的示例方法的流程圖。
圖23是使用不同傳感器模塊的資源制造光學感測設備的示例方法的流程圖。
具體實施方式
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