[發明專利]氣體檢查裝置中的氣體供給部的清洗方法在審
| 申請號： | 201980092902.3 | 申請日： | 2019-09-10 |
| 公開（公告）號： | CN113474632A | 公開（公告）日： | 2021-10-01 |
| 發明（設計）人： | 橋本紅良 | 申請（專利權）人： | 株式會社島津制作所 |
| 主分類號： | G01N1/00 | 分類號： | G01N1/00 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣體 檢查 裝置 中的 供給 清洗 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種氣體檢查裝置中的氣體供給部的清洗方法，對用于從供給口經由供給路向檢查部供給試樣氣體的氣體供給部進行清洗，其中，
封閉所述供給口，并且對所述供給路進行減壓。
2.根據權利要求1所述的氣體檢查裝置中的氣體供給部的清洗方法，其中，
在對所述供給口連接了在內部封入有干凈的氣體的袋狀體之后，將所述供給路減壓固定時間。
3.根據權利要求2所述的氣體檢查裝置中的氣體供給部的清洗方法，其中，
在所述袋狀體的內部封入的氣體是氮氣。
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