[發(fā)明專利]用于對透明基板改性的系統(tǒng)和方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201980076000.0 | 申請日： | 2019-09-20 |
| 公開（公告）號： | CN113056345A | 公開（公告）日： | 2021-06-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | H·基斯林;F·斯佩斯;R·J·特布魯根 | 申請（專利權(quán)）人： | 康寧股份有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/36 | 分類號： | B23K26/36;B23K26/38;B23K26/50;B23K26/53;B23K26/064 |
| 代理公司： | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100 | 代理人： | 陳依心;張鑫 |
| 地址： | 美國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 透明 改性 系統(tǒng) 方法 | ||
1.一種系統(tǒng)，包括：
光源；
光學(xué)系統(tǒng)，包括第一部分和第二部分；以及
第一扭矩電機(jī)和第二扭矩電機(jī)，與所述第一部分和所述第二部分中的相應(yīng)部分集成，
其中，所述第一扭矩電機(jī)配置為使所述第一部分圍繞第一軸線旋轉(zhuǎn)；
其中，所述第二扭矩電機(jī)配置為使所述第二部分圍繞第二軸線旋轉(zhuǎn)；
其中，所述第一軸線垂直于所述第二軸線。
2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述光學(xué)系統(tǒng)包括：
非球面光學(xué)元件；
第一反射光學(xué)設(shè)備；
第一透鏡，配置為對光線進(jìn)行準(zhǔn)直；
第二反射光學(xué)設(shè)備；以及
第二透鏡，配置為對所述光線進(jìn)行聚焦。
3.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)一步包括：非球面光學(xué)元件，所述非球面光學(xué)元件包括：折射軸棱錐、反射軸棱錐、負(fù)軸棱錐、空間光調(diào)制器、衍射光學(xué)器件、或立方體形狀的光學(xué)元件。
4.如權(quán)利要求1或2所述的系統(tǒng)，其中，所述光學(xué)系統(tǒng)包括：第一反射光學(xué)設(shè)備和第二反射光學(xué)設(shè)備，所述第一反射光學(xué)設(shè)備和第二反射光學(xué)設(shè)備包括鏡子。
5.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述第一部分包括非球面光學(xué)元件和反射光學(xué)設(shè)備。
6.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中，所述第一部分進(jìn)一步包括透鏡。
7.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述第一部分包括反射光學(xué)設(shè)備和透鏡。
8.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述第二部分包括反射光學(xué)設(shè)備和透鏡。
9.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中，所述第二部分進(jìn)一步包括另一透鏡。
10.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述光源產(chǎn)生具有脈沖串的脈沖激光射束，所述脈沖串包括針對每個脈沖串的兩個或更多個子脈沖。
11.如權(quán)利要求1至10所述的系統(tǒng)，其中，所述光學(xué)系統(tǒng)配置為生成準(zhǔn)非衍射射束。
12.如權(quán)利要求1至11所述的系統(tǒng)，其中，所述準(zhǔn)非衍射射束包括：
波長λ；
光斑尺寸wo；以及
包括大于的瑞利范圍ZR的橫截面，其中，F(xiàn)D是包括10或更大值的無量綱發(fā)散因子。
13.如權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其中，所述無量綱發(fā)散因子FD包括從10到2000、從50到1500、或從100到1000的值。
14.如權(quán)利要求1至13所述的系統(tǒng)，進(jìn)一步包括：編碼器，配置為跟蹤所述扭矩電機(jī)。
15.如權(quán)利要求1至14所述的系統(tǒng)，其中，所述第一軸線是笛卡爾坐標(biāo)系中的豎直的Z軸，并且所述第二軸線是笛卡爾坐標(biāo)系中的X軸或Y軸。
16.如權(quán)利要求1至15所述的系統(tǒng)，其中，所述系統(tǒng)被配置用于對透明工件進(jìn)行激光處理。
17.如權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中，所述透明工件包括堿鋁硅玻璃材料。
18.一種方法，包括：
由系統(tǒng)生成準(zhǔn)非衍射射束；
將所述準(zhǔn)非衍射射束引導(dǎo)到透明工件上，在所述透明工件內(nèi)生成誘導(dǎo)吸收并產(chǎn)生缺陷；以及
由所述系統(tǒng)沿輪廓線將所述準(zhǔn)非衍射射束相對于所述透明工件移動，在所述透明工件中形成具有多個缺陷的輪廓，
其中，所述準(zhǔn)非衍射射束在沖擊位置處被取向?yàn)榕c所述透明工件的沖擊表面正交。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于康寧股份有限公司，未經(jīng)康寧股份有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201980076000.0/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
