[發明專利]工件檢查裝置和工件檢查方法

有效

• 申請號: 201980069508.8
• 申請日: 2019-11-22
• 公開（公告）號: CN112888531B
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發明（設計）人: 小原亮;五十川真樹;齋藤安久;山本學;町田昌史;鹽飽淳
• 申請（專利權）人: 本田技研工業株式會社
• 主分類號: B23Q17/20
• 分類號: B23Q17/20;B23Q17/24;G01N21/84;G01N21/88
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 崔成哲;黃綸偉

工件檢查裝置(1)具有工作臺(3)、攝像固定部(7)、第1投光部(4)、第2投光部(5)、直線移動機構(8)、使攝像部(6)相對于攝像固定部自如轉動的轉動機構(9)、優良與否判定部(10)和控制部(11)。控制部(11)具有以下工序：第1拍攝工序，利用第1投光部(4)照射光，利用攝像部(6)進行拍攝；詳細檢查部分判定工序，將根據第1拍攝工序中拍攝的圖像判定為需要進行工件(2)的詳細檢查的部分設定為需要詳細檢查部分；第2拍攝工序，針對需要詳細檢查部分，通過第2投光部(5)對工件(2)照射光，并利用攝像部(6)進行拍攝；優良與否判定工序，根據第2拍攝工序中拍攝到的圖像進行需要詳細檢查部分的優良與否判定。

技術領域

本發明涉及工件檢查裝置和工件檢查方法。

背景技術

以往，公知有根據拍攝玻璃基板而得到的圖像數據來判定玻璃基板的好壞的檢查裝置(例如參照日本特開2002-5850號公報)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2002-5850號公報

發明內容

發明要解決的課題

在根據拍攝工件而得到的圖像來檢查工件的裝置中，考慮如下的檢查裝置：通過基于拍攝圖像進行的平面圖像分析和基于利用了狹縫光的圖像進行的高低差分析等，來判定工件的好壞，但是，一般而言，存在如下問題：越提高檢查精度，則檢查的周期時間越長。

本發明鑒于以上情況，其目的在于，提供能夠進行高精度的檢查、且能夠縮短周期時間的工件檢查裝置和工件檢查方法。

用于解決課題的手段

為了實現上述目的，本發明是一種工件檢查裝置，其利用攝像部對工件的表面進行拍攝并判定優良與否，其特征在于，所述工件檢查裝置具有：工作臺，其載置所述工件；攝像固定部，其對與所述工件分離配置的所述攝像部進行固定；第1投光部；第2投光部；直線移動機構，其進行直線移動而自如調整所述工作臺與所述攝像固定部之間的相對距離；轉動機構，其具有處于與所述直線移動機構的移動方向正交的方向上的旋轉軸，以所述旋轉軸為軸使所述攝像部相對于所述攝像固定部自如轉動；優良與否判定部，其根據所述攝像部的圖像進行工件的優良與否判定；以及控制部，其對所述直線移動機構和所述轉動機構進行控制，所述控制部具有以下工序：第1拍攝工序，通過所述第1投光部對所述工件照射光，利用所述攝像部進行拍攝；詳細檢查部分判定工序，在存在根據所述第1拍攝工序中拍攝到的圖像判定為需要進行所述工件的詳細檢查的部分的情況下，將判定出的所述部分設為需要詳細檢查部分；第2拍攝工序，在所述詳細檢查部分判定工序中設定了所述需要詳細檢查部分的情況下，通過所述第2投光部對所述工件的所述需要詳細檢查部分照射光，利用所述攝像部對所述需要詳細檢查部分進行拍攝；以及優良與否判定工序，根據在所述第2拍攝工序中拍攝到的圖像進行所述需要詳細檢查部分的優良與否判定。

根據本發明，通過第2投光部，僅拍攝在通過第1投光部進行拍攝時判定為需要進行詳細檢查的部分以進行最終的工件的優良與否判定，因此，能夠提供可進行高精度的檢查、且能夠縮短周期時間的工件檢查裝置。

此外，在本發明中，優選所述攝像部通過所述轉動機構而被自如配置于第1位置，該第1位置是接收所述第1投光部的投光在所述工件被鏡面反射后的反射光的位置，并且，所述攝像部通過所述轉動機構而被自如配置于第2位置，該第2位置是接收所述第2投光部的投光在所述工件被鏡面反射后的反射光的位置，所述第2投光部的投光以與所述第1投光部的投光向所述工件入射的入射角度不同的入射角度投光到所述工件，為了防止在所述攝像部接收所述第1投光部的反射光的情況下和接收所述第2投光部的反射光的情況下因入射角度的不同而導致的差異而引起的對焦偏差，利用所述直線移動機構調整所述工作臺與所述攝像固定部之間的相對距離以進行對焦。