[發(fā)明專利]分類半導(dǎo)體樣本中的缺陷

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980065723.0
• 申請日: 2019-11-24
• 公開（公告）號: CN112805719A
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: A·阿斯巴格;B·科恩;S·甘-奧
• 申請（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料以色列公司
• 主分類號: G06K9/00
• 分類號: G06K9/00
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖;張鑫

1.一種用于將樣本中的缺陷分類為多個類別的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括處理器和存儲器電路系統(tǒng)(PMC)，所述處理器和存儲器電路系統(tǒng)(PMC)經(jīng)配置為：

接收由第一分類器分類為多數(shù)類別的多個缺陷，其中所述多個缺陷中的一個或多個缺陷屬于一個或多個少數(shù)類別，并且所述多個缺陷中的至少一部分缺陷屬于所述多數(shù)類別，并且其中所述多個缺陷中的每個缺陷由多個屬性表征，每個屬性具有各自的值；

選擇所述多個屬性的子集，并為所述子集的每個屬性定義區(qū)分項，以使配置為根據(jù)所述子集和針對每個相應(yīng)屬性的所述區(qū)分項對缺陷進行分類的第二分類器正確地將所述多個缺陷中至少預(yù)定份額的缺陷分類為所述一個或多個少數(shù)類別和所述多數(shù)類別；

生成臨時訓(xùn)練集，所述臨時訓(xùn)練集包括：屬于所述多數(shù)類別的所述多個缺陷中的至少一部分缺陷、屬于所述少數(shù)類別的所述多個缺陷中的至少一部分缺陷、以及額外缺陷，所述額外缺陷具有針對屬性的所述子集的值以使所述第二分類器將所述額外缺陷分類為所述少數(shù)類別；

訓(xùn)練引擎，所述引擎經(jīng)配置以獲取對于由屬性的所述子集的第一值所表征的缺陷屬于所述多數(shù)類別的可信度，其中對所述臨時訓(xùn)練集、屬性的所述子集和針對所述子集的每個屬性的所述區(qū)分項執(zhí)行訓(xùn)練；

將所述引擎應(yīng)用于被分類為所述多數(shù)類別的第二多個缺陷中的每個給定缺陷，以獲取對于將所述給定缺陷分類為所述多數(shù)類別的可信度；以及

從所述第二多個缺陷輸出具有比預(yù)定閾值要低的可信度的缺陷，所述缺陷從而假定屬于所述一個或多個少數(shù)類別。

2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述PMC進一步經(jīng)配置以生成額外缺陷，所述額外缺陷可由所述第二分類器分類為所述一個或多個少數(shù)類別，并將所述額外缺陷包括進所述臨時訓(xùn)練集中。

3.如權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中所述額外缺陷中的至少一個缺陷為被產(chǎn)生作為多個第一值的合成缺陷，每個第一值根據(jù)針對所述子集的每個屬性的區(qū)分項而與來自所述子集的屬性相關(guān)聯(lián)。

4.如權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其中與給定屬性相關(guān)聯(lián)的第一值被確定為在屬于所述一個或多個少數(shù)類別的第一缺陷的所述給定屬性的值與鄰近所述第一缺陷并屬于所述多數(shù)類別的第二缺陷的所述給定屬性的值之間的值。

5.如權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其中將與給定屬性相關(guān)聯(lián)的第一值確定為屬于所述一個或多個少數(shù)類別的缺陷的所述給定屬性的值。

6.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述PMC進一步經(jīng)配置以：

將所述輸出缺陷的至少一部分識別為屬于所述一個或多個少數(shù)類別；

通過對訓(xùn)練集訓(xùn)練所述第一分類器來更新所述第一分類器，所述訓(xùn)練集包括屬于所述一個或多個少數(shù)類別的所述多個缺陷中的至少一些缺陷、屬于所述多數(shù)類別的所述多個缺陷中的至少一些缺陷、以及被識別為屬于所述一個或多個少數(shù)類別的所述輸出缺陷；以及

更新由所述第一分類器分類為所述多數(shù)類別的所述多個缺陷，并輸出缺陷，所述缺陷在更新時出現(xiàn)且所述引擎針對所述缺陷獲取比所述閾值要低的可信度。

7.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述引擎包括樹集成。

8.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述區(qū)分項為來自一系列值的閾值。

9.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述區(qū)分項包括來自分立值集合的一個或多個值。