[發(fā)明專利]檢查指示信息產(chǎn)生裝置、基板檢查系統(tǒng)、檢查指示信息產(chǎn)生方法以及檢查指示信息產(chǎn)生程序

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980060230.8
• 申請日: 2019-07-18
• 公開（公告）號: CN112689769A
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 椹木雅也
• 申請（專利權(quán)）人: 日本電產(chǎn)理德股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R27/08;H05K3/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 馬爽;臧建明

1.一種檢查指示信息產(chǎn)生裝置，包括：存儲部，存儲表示基板的面狀導(dǎo)體、導(dǎo)電部、配線、及通孔如何導(dǎo)通連接的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)信息，所述基板包括：作為設(shè)置有擴(kuò)展成面狀或網(wǎng)狀的導(dǎo)電性的所述面狀導(dǎo)體的層的導(dǎo)體層、設(shè)置有多個(gè)所述導(dǎo)電部的基板面、作為層疊于所述導(dǎo)體層與所述基板面之間的層的配線層、將所述配線層的配線與所述多個(gè)導(dǎo)電部連接的通孔、以及將所述配線層的配線與所述導(dǎo)體層的面狀導(dǎo)體連接的通孔；以及

檢查指示信息產(chǎn)生部，當(dāng)存在多個(gè)經(jīng)由所述配線層的配線而相互導(dǎo)通的所述導(dǎo)電部彼此的群組時(shí)，根據(jù)所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)信息，執(zhí)行如下的檢查指示信息產(chǎn)生處理：自所述各群組中各選擇一對所述導(dǎo)電部作為第一選擇導(dǎo)電部，并將表示所述經(jīng)選擇的多對第一選擇導(dǎo)電部的信息作為檢查指示信息來記錄。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查指示信息產(chǎn)生裝置，其中所述檢查指示信息產(chǎn)生處理包括如下的工序：

(a)根據(jù)所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)信息，將經(jīng)由所述配線層的配線而相互導(dǎo)通的所述導(dǎo)電部彼此群組化；以及

(b)針對所述經(jīng)群組化的多個(gè)群組，自所述各群組中所包含的導(dǎo)電部中選擇兩個(gè)導(dǎo)電部作為所述一對第一選擇導(dǎo)電部，并將所述經(jīng)選擇的多對第一選擇導(dǎo)電部設(shè)為能夠同時(shí)進(jìn)行檢查的檢查部位而記錄于所述檢查指示信息。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢查指示信息產(chǎn)生裝置，其中所述(b)工序進(jìn)而在存在具有未被選擇為所述第一選擇導(dǎo)電部的導(dǎo)電部的群組的情況下，針對所述群組，將包含所述未被選擇為第一選擇導(dǎo)電部的導(dǎo)電部的兩個(gè)導(dǎo)電部作為應(yīng)與所述多對第一選擇導(dǎo)電部不同時(shí)地進(jìn)行檢查的一對第二選擇導(dǎo)電部，記錄于所述檢查指示信息。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的檢查指示信息產(chǎn)生裝置，其中所述基板包括多層所述配線層，進(jìn)而包括將所述多個(gè)配線層間連接的多個(gè)通孔，

所述檢查指示信息產(chǎn)生部進(jìn)而執(zhí)行如下的工序：(d)在多個(gè)所述配線層的配線并聯(lián)連接的情況下，在所述(a)工序之前，以將所述經(jīng)并聯(lián)連接的多個(gè)配線替換成所述各配線之中最接近所述基板面的一個(gè)配線的方式，變更所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)信息，且

根據(jù)由所述(d)工序所變更的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)信息，執(zhí)行所述檢查指示信息產(chǎn)生處理。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的檢查指示信息產(chǎn)生裝置，其中所述檢查指示信息產(chǎn)生部進(jìn)而執(zhí)行如下的工序：(e)在通過所述配線與所述面狀導(dǎo)體而將所述通孔或通孔的列并聯(lián)連接的情況下，在所述(a)工序之前，以將所述經(jīng)并聯(lián)連接的通孔或通孔的列替換成一個(gè)通孔或一列通孔的方式，變更由所述(d)工序所變更的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)信息，且

根據(jù)由所述(e)工序所變更的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)信息，執(zhí)行所述檢查指示信息產(chǎn)生處理。

6.根據(jù)權(quán)利要求2至5中任一項(xiàng)所述的檢查指示信息產(chǎn)生裝置，其中所述基板包括多層所述配線層，進(jìn)而包括將所述多個(gè)配線層間連接的多個(gè)通孔，

所述檢查指示信息產(chǎn)生部(f)將所述多個(gè)配線層之中，最接近所述基板面的配線層作為處理對象來執(zhí)行所述(a)工序及(b)工序，

(g)針對除所述最接近所述基板面的配線層以外的其他配線層，將所述其他配線層分別作為處理對象，

(g1)針對成為所述處理對象的所述配線層的各配線，對應(yīng)于其中一個(gè)配線，對于與所述一個(gè)配線的遠(yuǎn)離所述導(dǎo)體層的一側(cè)連接的一個(gè)通孔，選擇一個(gè)在所述一個(gè)通孔的與所述配線相反側(cè)進(jìn)行電性連接的所述導(dǎo)電部，由此針對對應(yīng)的所述各配線，將所述經(jīng)選擇的導(dǎo)電部群組化，

(g2)針對在所述(g1)工序中經(jīng)群組化的群組，執(zhí)行所述(b)工序，且

所述(b)工序?qū)⑺龈鲗Φ牡谝贿x擇導(dǎo)電部與所述處理對象的配線層建立對應(yīng)而記錄于所述檢查指示信息。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢查指示信息產(chǎn)生裝置，其中所述(b)工序自在所述(f)工序及(g)工序中，將接近所述基板面的配線層選擇為處理對象者起，依次將所述多對第一選擇導(dǎo)電部針對所述各配線層進(jìn)行排序后記錄于所述檢查指示信息。