[發(fā)明專利]化合物、和包含其的組合物、以及抗蝕圖案的形成方法和絕緣膜的形成方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201980055556.1 | 申請日: | 2019-08-21 |
| 公開(公告)號: | CN112639021A | 公開(公告)日: | 2021-04-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 佐藤隆;越后雅敏;牧野島高史 | 申請(專利權(quán))人: | 三菱瓦斯化學(xué)株式會社 |
| 主分類號: | C08L61/04 | 分類號: | C08L61/04;C07C39/367;C07C69/712;C07C69/96;C08G8/00;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039 |
| 代理公司: | 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 劉新宇;李茂家 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 化合物 包含 組合 以及 圖案 形成 方法 絕緣 | ||
1.一種組合物,其包含多酚化合物(B),
所述多酚化合物(B)為選自由下述式(1)所示的化合物和具有下述式(2)所示的結(jié)構(gòu)的樹脂組成的組中的1種以上,
式(1)中,RY為氫原子、任選具有取代基的碳數(shù)1~30的烷基或任選具有取代基的碳數(shù)6~30的芳基;
RZ為任選具有取代基的碳數(shù)1~60的N價的基團(tuán)或單鍵;
RT各自獨(dú)立地為任選具有取代基的碳數(shù)1~30的烷基、任選具有取代基的碳數(shù)6~30的芳基、任選具有取代基的碳數(shù)2~30的烯基、任選具有取代基的碳數(shù)2~30的炔基、任選具有取代基的碳數(shù)1~30的烷氧基、鹵原子、硝基、氨基、羧酸基、交聯(lián)性基團(tuán)、解離性基團(tuán)、硫醇基或羥基,其中,RT中的至少1者包含交聯(lián)性基團(tuán)、解離性基團(tuán)或羥基,所述烷基、所述芳基、所述烯基、所述炔基、所述烷氧基任選包含醚鍵、酮鍵或酯鍵;
其中,RZ包含至少2個碘原子;
X為氧原子、硫原子或為無橋接;
m各自獨(dú)立地為0~9的整數(shù),其中,m中的至少1個為1~9的整數(shù);
r各自獨(dú)立地為0~2的整數(shù),其中,r中的至少1個為1~2的整數(shù);
N為1~4的整數(shù),其中,N為2以上的整數(shù)的情況下,N個[]內(nèi)的結(jié)構(gòu)式任選相同或不同,
式(2)中,L為任選具有取代基的碳數(shù)1~30的亞烷基、任選具有取代基的碳數(shù)6~30的亞芳基、任選具有取代基的碳數(shù)1~30的亞烷氧基或單鍵,所述亞烷基、所述亞芳基、所述亞烷氧基任選包含醚鍵、酮鍵或酯鍵;
RY為氫原子、任選具有取代基的碳數(shù)1~30的烷基或任選具有取代基的碳數(shù)6~30的芳基;
RZ為任選具有取代基的碳數(shù)1~60的N價的基團(tuán)或單鍵;
RT各自獨(dú)立地為任選具有取代基的碳數(shù)1~30的烷基、任選具有取代基的碳數(shù)6~30的芳基、任選具有取代基的碳數(shù)2~30的烯基、任選具有取代基的碳數(shù)2~30的炔基、任選具有取代基的碳數(shù)1~30的烷氧基、鹵原子、硝基、氨基、羧酸基、交聯(lián)性基團(tuán)、解離性基團(tuán)、硫醇基或羥基,其中,RT中的至少1者包含交聯(lián)性基團(tuán)、解離性基團(tuán)或羥基,所述烷基、所述芳基、所述烯基、所述炔基、所述烷氧基任選包含醚鍵、酮鍵或酯鍵;
其中,RZ包含至少2個碘原子;
X為氧原子、硫原子或為無橋接;
m各自獨(dú)立地為0~9的整數(shù),其中,m中的至少1個為1~9的整數(shù);
r各自獨(dú)立地為0~2的整數(shù),其中,r中的至少1個為1~2的整數(shù);
N為1~4的整數(shù),其中,N為2以上的整數(shù)的情況下,N個[]內(nèi)的結(jié)構(gòu)式任選相同或不同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物,其中,還含有基材(A),所述基材(A)為選自由苯酚酚醛清漆樹脂、甲酚酚醛清漆樹脂、羥基苯乙烯樹脂、(甲基)丙烯酸類樹脂、羥基苯乙烯-(甲基)丙烯酸類共聚物、環(huán)烯烴-馬來酸酐共聚物、環(huán)烯烴、乙烯基醚-馬來酸酐共聚物、和具有金屬元素的無機(jī)抗蝕材料、以及它們的衍生物組成的組中的1種以上。
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