[發(fā)明專利]靜電卡盤及靜電卡盤的制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201980052004.5
• 申請(qǐng)日: 2019-08-27
• 公開（公告）號(hào): CN112534565A
• 公開（公告）日: 2021-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小野浩司
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京瓷株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;H02N13/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 吳克鵬

1.一種靜電卡盤，其具備陶瓷基體和靜電吸附用電極，所述陶瓷基體為板狀，在一個(gè)主面具有試樣保持面，所述靜電吸附用電極設(shè)置于該陶瓷基體的內(nèi)部或另一個(gè)主面，所述陶瓷基體包含主成分為氧化鋁的多個(gè)粒子，該多個(gè)粒子包含具有鎂原子和鋯原子的粒子。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電卡盤，其中，所述陶瓷基體中，鋯的含量C2相對(duì)于鎂的含量C1之比C2/C1為1以上，其中C1和C2的單位為mol。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靜電卡盤，其中，所述陶瓷基體中，所述C2相對(duì)于鋁的含量C3之比C2/C3為0.01以下，其中C2和C3的單位為mol。

4.一種靜電卡盤用基板的制造方法，其特征在于，包括如下工序：

通過溶膠-凝膠法制作氧化鋁-氧化鋯粉末的工序；

將所述氧化鋁-氧化鋯粉末與氧化鋁粉末混合來制作陶瓷材料的工序；以及

將所述陶瓷材料燒成的工序。