[發明專利]光學功能膜、濺射靶及濺射靶的制造方法

在審

• 申請號: 201980046706.2
• 申請日: 2019-09-09
• 公開（公告）號: CN112424390A
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發明（設計）人: 梅本啟太;白井孝典;杉內幸也;大友健志
• 申請（專利權）人: 三菱綜合材料株式會社
• 主分類號: C23C14/06
• 分類號: C23C14/06;C04B35/56;C04B35/58;C23C14/34;G02B5/08;G06F3/041
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 刁興利;康泉

本發明的光學功能膜含有由選自TiC、NbC、VC、TiN、NbN及VN中的一種以上組成的第一成分和由選自In₂O₃、Y₂O₃、Nb₂O₅、V₂O₅、Al₂O₃、ZnO及SiO₂中的一種以上組成的第二成分，所述光學功能膜的膜厚d為30nm以上且100nm以下，可見光區域的折射率n為1.5以上且2.7以下，且可見光區域的消光系數k為0.3以上且1.5以下。

技術領域

本發明涉及一種層疊在金屬薄膜等且減少來自金屬薄膜等的光的反射的光學功能膜、用于形成該光學功能膜的濺射靶及該濺射靶的制造方法。

本申請主張基于2018年9月7日在日本申請的專利申請2018-167996號及2019年9月6日在日本申請的專利申請2019-163288號的優先權，并將該內容援用于此。

背景技術

近年來，作為移動終端裝置等輸入機構，采用了投影型靜電電容式觸摸面板。在該方式的觸摸面板中，為了檢測觸摸位置而形成有感測用電極。該感測用電極通常通過圖案化而形成，在透明基板的一個面上設置沿X方向延伸的X電極和沿與X方向正交的Y方向延伸的Y電極，并將這些配置成格子狀。

當在觸摸面板的電極中使用了金屬膜時，由于金屬膜具有金屬光澤而導致可以從外部視覺辨認電極的圖案。因此，考慮通過在金屬薄膜上形成可見光的反射率低的低反射率膜而降低電極的視覺辨認性。

以液晶顯示裝置和等離子顯示器為代表的平板顯示器中采用了以彩色顯示為目的的濾色器。在該濾色器中，以使對比度和顏色純度良好，并提高視覺辨認性為目的而形成有稱為黑矩陣的黑色部件。

上述低反射率膜還能夠用作該黑矩陣(以下記載為“BM”)。

在太陽能電池板中，當太陽光經由玻璃基板等入射時，在其相反一側形成有太陽能電池的背電極。作為該背電極，使用了鉬(Mo)、銀(Ag)等金屬膜。從背面側觀察這種方式的太陽能電池板時，可視覺辨認作為該背電極的金屬膜。

因此，考慮通過在背電極上形成上述低反射率膜而降低背電極的視覺辨認性。

作為上述低反射率膜，例如在專利文獻1中公開了一種黑化膜，其具有由碳黑或氮化鈦組成的黑色顏料、樹脂、聚合引發劑及折射率調整用氧化物。

在專利文獻2、3中提出了一種濺射靶，其作為用于形成光學薄膜的濺射靶，而含有碳化物和氧化物。

專利文獻1：日本特開2017-211826號公報

專利文獻2：日本特開2005-068507號公報

專利文獻3：日本特開2003-321771號公報

在專利文獻1中所記載的低反射膜中，將含有由碳黑或氮化鈦組成的黑色顏料的樹脂形成為膜狀，且樹脂為主成分，因此耐久性并不充分。

在專利文獻2、專利文獻3中所記載的濺射靶中，雖含有碳化物，但碳化物的熔點高且燒結性差，因此難以充分提高燒結體的密度。在密度低的濺射靶中，有可能在濺射時經常發生異常放電，且無法穩定地進行成膜。

并且，在專利文獻2、專利文獻3中所記載的濺射靶中，導電性不充分，因此通過DC濺射無法穩定地進行成膜而通過RF濺射進行成膜。與DC濺射相比，RF濺射的成膜效率低，因此無法有效地形成光學功能膜。

對上述光學功能膜要求耐久性，以使在制造時及使用時光學特性不會顯著變化。例如，當在成膜之后實施加熱工序時，要求耐熱性。并且，當通過蝕刻形成布線圖案時，由于在剝離抗蝕劑膜時使用堿，因此要求耐堿性。而且，由于在蝕刻之后和堿處理之后每次清洗時與水接觸，因此要求耐水性。