[發(fā)明專利]屏蔽層、屏蔽層的制造方法及氧化物濺射靶

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201980019072.1
• 申請(qǐng)日: 2019-04-11
• 公開（公告）號(hào): CN111902561B
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 森理惠;山口剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三菱綜合材料株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C23C14/08
• 分類號(hào): C23C14/08;C04B35/01;C23C14/34;G02B1/16;G06F3/041;H05K9/00
• 代理公司: 北京德琦知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018
• 代理人: 刁興利;康泉

一種屏蔽層(20)，其配設(shè)于液晶顯示面板(10)，該屏蔽層(20)的特征在于，由如下氧化物構(gòu)成：將金屬成分的總計(jì)設(shè)為100原子％，在60原子％以上且80原子％以下的范圍內(nèi)包含In，且剩余部分為Si及不可避免的雜質(zhì)金屬元素，并且，將金屬成分的總計(jì)設(shè)為100原子％，還可以在1原子％以上且32原子％以下的范圍內(nèi)包含Zr。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種在顯示面板中為了防靜電而配設(shè)的屏蔽層、該屏蔽層的制造方法及用于該屏蔽層的制造方法的氧化物濺射靶。

本申請(qǐng)主張基于2018年4月26日于日本申請(qǐng)的專利申請(qǐng)2018-085459號(hào)及2019年3月29日于日本申請(qǐng)的專利申請(qǐng)2019-068393號(hào)的優(yōu)先權(quán)，并將該內(nèi)容物援用于此。

背景技術(shù)

在液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器及觸控面板等顯示面板中，為了防止液晶元件、有機(jī)EL元件等的由靜電引起的誤動(dòng)作而配設(shè)有屏蔽層。尤其，在內(nèi)嵌型觸控面板中，對(duì)于上述屏蔽層還要求如下作用：一邊排除來自外部的干擾，一邊使觸控信號(hào)到達(dá)面板內(nèi)部的傳感器部分。

并且，在該屏蔽層中，為了確保顯示面板的視覺辨認(rèn)性，還要求可見光的透射性高。

在此，例如，在專利文獻(xiàn)1中，作為上述屏蔽層，可舉出ITO膜、IZO膜。

在該專利文獻(xiàn)1中，設(shè)為如下結(jié)構(gòu)：在配置于液晶元件上的玻璃基板的表面上配設(shè)有偏振膜，且在該偏振膜上層疊上述屏蔽層。

并且，在專利文獻(xiàn)2中，提出了一種在氧化銦錫(ITO)中含有7.2～11.2原子％的硅(Si)的透明導(dǎo)電膜。

專利文獻(xiàn)1：US2013/0329171A1

專利文獻(xiàn)2：日本特開2013-142194號(hào)公報(bào)

因此，如專利文獻(xiàn)1所記載，在作為屏蔽層而使用ITO膜及IZO膜的情況下，可見光下的透射率低，因此看起來像帶有黃色，視覺辨認(rèn)性有可能會(huì)劣化。

并且，在專利文獻(xiàn)2中所記載的透明導(dǎo)電膜中，電阻值高，且光的透射性優(yōu)異，但是耐環(huán)境性不足，在使用環(huán)境下，電阻值、透射性有可能會(huì)劣化。

而且，在上述屏蔽層中，根據(jù)顯示面板的使用狀態(tài)，要求優(yōu)異的耐環(huán)境性(耐熱性、耐濕性)，以即使在高溫高濕環(huán)境下使用的情況下，電阻值及透射率也不會(huì)改變。

在此，上述ITO膜及IZO膜容易成為晶質(zhì)，因此在高溫高濕環(huán)境下使用的情況下，水分等腐蝕性物質(zhì)容易侵入到膜內(nèi)部，電阻值及透射率有可能會(huì)改變。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于前述的情況而完成的，其目的在于提供一種可見光的透射率高，且電阻值足夠高，而且具有優(yōu)異的耐環(huán)境性(耐熱性、耐濕性)的屏蔽層、屏蔽層的制造方法及氧化物濺射靶。

為了解決上述課題，本發(fā)明的屏蔽層配設(shè)于顯示面板，所述屏蔽層的特征在于，由如下氧化物構(gòu)成：將金屬成分的總計(jì)設(shè)為100原子％，在60原子％以上且80原子％以下的范圍內(nèi)包含In，且剩余部分為Si及不可避免的雜質(zhì)金屬元素。

根據(jù)本發(fā)明的屏蔽層，由如下氧化物構(gòu)成：將金屬成分的總計(jì)設(shè)為100原子％，在60原子％以上且80原子％以下的范圍內(nèi)包含In，且剩余部分為Si及不可避免的雜質(zhì)金屬元素，因此可見光的透射率優(yōu)異，且具有足夠高的電阻值。

而且，本發(fā)明的屏蔽層容易成為非晶質(zhì)，因此水分等腐蝕性物質(zhì)難以侵入到膜內(nèi)部，即使在高溫高濕環(huán)境下使用的情況下，電阻值及透射率也不會(huì)大幅改變，且具有優(yōu)異的耐環(huán)境性(耐熱性、耐濕性)。

并且，本發(fā)明的屏蔽層具有對(duì)水及醇的耐性，因此即使在用水及醇等進(jìn)行清洗的情況下，透射率、電阻值也不會(huì)大幅改變。

在此，在本發(fā)明的屏蔽層中，將金屬成分的總計(jì)設(shè)為100原子％，還可以在1原子％以上且32原子％以下的范圍內(nèi)包含Zr。