[實用新型]一種多晶硅還原爐及其夾套裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922486285.5
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN211310862U
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發(fā)明（設計）人: 余濤;冉祎;李偉;楊鵬程
• 申請（專利權）人: 四川永祥多晶硅有限公司
• 主分類號: C01B33/03
• 分類號: C01B33/03;C01B33/035
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 張雪嬌

本實用新型公開了一種夾套裝置，包括：套筒；設置于所述套筒內的流道，所述流道為多層，且沿著所述套筒的軸向布置，多層所述流道均圍繞爐筒設置，且相鄰的兩層流道之間相通；進水管和出水管，所述進水管設置在所述套筒的底部，所述出水管設置在所述套筒的頂部，所述進水管與最底層的所述流道相通，所述進水管水平布置，且垂直于所述套筒。由于進水管垂直于套筒布置，那么水流就可以在沒有阻力的作用下進入到最底層的流道中，因此能夠防止套筒下部出現(xiàn)局部水量不足的現(xiàn)象，從而規(guī)避爐筒局部換熱效果差，爐內相對應處溫場較高，進而提高硅棒的質量。本實用新型還公開了一種多晶硅還原爐。

技術領域

本實用新型涉及多晶硅生產領域，更具體地說，涉及一種多晶硅還原爐及其夾套裝置。

背景技術

夾套裝置套設在多晶硅還原爐的爐筒的外。夾套內設置有流道，以供冷卻水的流通，冷卻水吸收爐筒內的熱量，并將熱量帶走，從而達到為爐筒內部降溫的目的。夾套裝置具有進水管，進水管的進口與水源連通，進水管的出口與流道連通，并且進水管通常設置在夾套的下方。但是，在實際的運行過程中，夾套的下部通常會出現(xiàn)局部水量不足的現(xiàn)象，從而造成爐筒局部換熱效果差，爐內相對應處溫場較高，從而影響硅棒表面質量。

因此，如何防止夾套下部出現(xiàn)局部水量不足的現(xiàn)象，從而規(guī)避爐筒局部換熱效果差，爐內相對應處溫場較高，進而提高硅棒的質量，是本領域技術人員亟待解決的關鍵性問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種夾套裝置，該夾套裝置的特殊結構能夠防止夾套下部出現(xiàn)局部水量不足的現(xiàn)象，從而規(guī)避爐筒局部換熱效果差，爐內相對應處溫場較高，進而提高硅棒的質量。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種夾套裝置，包括：套筒；設置于所述套筒內的流道，所述流道為多層，且沿著所述套筒的軸向布置，多層所述流道均圍繞爐筒設置，且相鄰的兩層流道之間相通；進水管和出水管，所述進水管設置在所述套筒的底部，所述出水管設置在所述套筒的頂部，所述進水管與最底層的所述流道相通，所述進水管水平布置，且垂直于所述套筒。

優(yōu)選地，所述套筒內部設置有環(huán)形板，所述環(huán)形板為多個，多個所述環(huán)形板沿著所述套筒的軸向布置，上下相鄰的兩個所述環(huán)形板之間形成一層所述流道，所述環(huán)形板的環(huán)形腔與所述爐筒適配。

優(yōu)選地，相鄰兩層所述流道之間的所述環(huán)形板上設置有通道，所述通道用于連通相鄰兩層所述流道。

優(yōu)選地，不同的所述環(huán)形板上的所述通道錯位設置。

優(yōu)選地，相鄰兩個所述環(huán)形板上的所述通道在同一水平面內的角度為180度。

優(yōu)選地，與最底層的流道相對應的所述通道與所述進水管分設在最底層的流道的兩端。

優(yōu)選地，所述環(huán)形板的內徑側的側邊焊接在所述爐筒上，所述環(huán)形板的外徑側的側邊焊接在所述套筒的內壁上。

本實用新型還提供了一種多晶硅還原爐，包括夾套裝置，所述夾套裝置為上述任意一種夾套裝置。

從上述技術方案可以看出，本實用新型中套筒內部的流道為多層，多層流道沿著軸向布置，且均圍繞爐筒設置。相鄰兩層流道之間相通。進水管和出水管分別設置在套筒的底部和頂部，進水管與最底層的流道相通。特別地，進水管為水平布置，且垂直于套筒布置。由于進水管垂直于套筒布置，那么水流就可以在沒有阻力的作用下進入到最底層的流道中，因此能夠防止套筒下部出現(xiàn)局部水量不足的現(xiàn)象，從而規(guī)避爐筒局部換熱效果差，爐內相對應處溫場較高，進而提高硅棒的質量。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的方案，下面將對實施例中描述所需要使用的附圖作簡單的介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。