[實(shí)用新型]一種用于半導(dǎo)體封裝的清模及料片檢測(cè)一體化裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922425349.0
• 申請(qǐng)日: 2019-12-30
• 公開（公告）號(hào): CN210837685U
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 涂必勝;趙佃波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海雋工自動(dòng)化科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/66;G01R31/26;G01V8/12
• 代理公司: 上海海頌知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31258
• 代理人: 何葆芳;馬云

1.一種用于半導(dǎo)體封裝的清模及料片檢測(cè)一體化裝置，包括用于清潔模具的模具清潔機(jī)構(gòu)和用于檢測(cè)料片位置的料片檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：還包括水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)上滑動(dòng)設(shè)有豎直移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述豎直移動(dòng)機(jī)構(gòu)連接有能使豎直移動(dòng)機(jī)構(gòu)在水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)上水平滑動(dòng)的傳送機(jī)構(gòu)，所述豎直移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括能使模具清潔機(jī)構(gòu)上下移動(dòng)的清模豎直移動(dòng)機(jī)構(gòu)和能使料片檢測(cè)機(jī)構(gòu)上下移動(dòng)的檢測(cè)豎直移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述模具清潔機(jī)構(gòu)與清模豎直移動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，所述料片檢測(cè)機(jī)構(gòu)與檢測(cè)豎直移動(dòng)機(jī)構(gòu)相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清模及料片檢測(cè)一體化裝置，其特征在于：所述清模及料片檢測(cè)一體化裝置還包括安裝基座，所述安裝基座包括四個(gè)呈矩形分布的機(jī)構(gòu)橫梁，所述水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)連接在同側(cè)的機(jī)構(gòu)橫梁之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清模及料片檢測(cè)一體化裝置，其特征在于：所述水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌和滑動(dòng)設(shè)于導(dǎo)軌上的導(dǎo)軌滑塊，所述豎直移動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)導(dǎo)軌滑塊與導(dǎo)軌相連。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清模及料片檢測(cè)一體化裝置，其特征在于：所述水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)上滑動(dòng)設(shè)有行程開關(guān)調(diào)整組件，所述行程開關(guān)調(diào)整組件與豎直移動(dòng)機(jī)構(gòu)相連。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清模及料片檢測(cè)一體化裝置，其特征在于：在所述水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)的前后兩端分別設(shè)有光電傳感器，所述豎直移動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)有與光電傳感器相適配的平移遮光片。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清模及料片檢測(cè)一體化裝置，其特征在于：所述清模豎直移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括與水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)滑動(dòng)連接的隨動(dòng)底板，所述傳送機(jī)構(gòu)與隨動(dòng)底板相連，所述隨動(dòng)底板上豎直設(shè)有滑塊氣缸，所述滑塊氣缸具有兩個(gè)上下設(shè)置的可開合的氣缸滑塊；所述模具清潔機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)上下對(duì)稱分布的輥刷組件，兩個(gè)輥刷組件分別與兩個(gè)氣缸滑塊對(duì)應(yīng)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清模及料片檢測(cè)一體化裝置，其特征在于：所述模具清潔機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)上下對(duì)稱分布的輥刷組件，所述輥刷組件包括與清模豎直移動(dòng)機(jī)構(gòu)相連的、能在清模豎直移動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下上下移動(dòng)的輥刷槽，所述輥刷槽內(nèi)軸向設(shè)有可轉(zhuǎn)動(dòng)的輥刷轉(zhuǎn)軸，所述輥刷轉(zhuǎn)軸連接有輥刷馬達(dá)，所述輥刷轉(zhuǎn)軸上套設(shè)有若干輥刷刷柄，所述輥刷刷柄上設(shè)有刷毛，所述輥刷槽上設(shè)有若干吹氣噴嘴。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清模及料片檢測(cè)一體化裝置，其特征在于：所述檢測(cè)豎直移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括豎直設(shè)置的、能沿著水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)水平移動(dòng)的伸縮氣缸，所述料片檢測(cè)機(jī)構(gòu)與伸縮氣缸相連且能在伸縮氣缸的驅(qū)動(dòng)下上下移動(dòng)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清模及料片檢測(cè)一體化裝置，其特征在于：所述料片檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括水平設(shè)置的檢測(cè)橫梁，所述檢測(cè)橫梁與檢測(cè)豎直移動(dòng)機(jī)構(gòu)相連且能在檢測(cè)豎直移動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下上下移動(dòng)，所述檢測(cè)橫梁上從左到右對(duì)稱分布有若干檢測(cè)針組件，所述檢測(cè)橫梁的左右兩端對(duì)稱設(shè)有若干激光對(duì)射傳感器。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清模及料片檢測(cè)一體化裝置，其特征在于：所述傳送機(jī)構(gòu)包括傳送馬達(dá)、從動(dòng)輪組件、主動(dòng)輪組件和傳送鏈條，所述從動(dòng)輪組件和主動(dòng)輪組件分別設(shè)于水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)的前后兩端，所述傳送馬達(dá)與主動(dòng)輪組件驅(qū)動(dòng)連接，所述傳送鏈條繞過(guò)從動(dòng)輪組件后與主動(dòng)輪組件相連，所述豎直移動(dòng)機(jī)構(gòu)與傳送鏈條相連。