[實用新型]一種退火爐的冷卻裝置

有效

• 申請號: 201922401175.4
• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN211373259U
• 公開（公告）日: 2020-08-28
• 發明（設計）人: 趙永良
• 申請（專利權）人: 撫順領航特殊鋼有限公司
• 主分類號: F27D9/00
• 分類號: F27D9/00;F25D1/00;F25D1/02
• 代理公司: 天津睿禾唯晟專利代理事務所(普通合伙) 12235
• 代理人: 王哲

本實用新型提供一種退火爐的冷卻裝置，涉及一種機械加工技術領域。該實用新型包括。本實用新型通過設置有兩組相對設置的冷風機和抽風機，使得機體內部的高溫氣體可以通過抽風機快速被抽離出機體內部，同時再通過另一端的冷風機為機體內部注入冷空氣，從而達到快速降溫的目的。

技術領域

本實用新型涉及一種機械加工技術領域，特別是涉及一種退火爐的冷卻裝置。

背景技術

退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能，熱處理是針對不同的效果而設計的，可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態，修復注入的損傷，移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。一般用于退火爐的冷卻裝置結構比較簡單，只是將外界的冷空氣注入到退火爐的內部，以此來降低退火爐內部的溫度，但是此種方法冷卻效果較差，達不到冷卻的效果。

實用新型內容

針對上述問題中存在的不足之處，本實用新型提供一種退火爐的冷卻裝置，使其通過設置有兩組相對設置的冷風機和抽風機，使得機體內部的高溫氣體可以通過抽風機快速被抽離出機體內部，同時再通過另一端的冷風機為機體內部注入冷空氣，從而達到快速降溫的目的。

為了解決上述問題，本實用新型提供一種退火爐的冷卻裝置，包括底座和設置在所述底座上端的機體，所述機體內設置有退火爐，其中，還包括冷卻裝置，所述冷卻裝置包括設置在所述機體左端的第一箱體和設置在所述機體右端的第二箱體，所述第一箱體內設置有冷風機結構，所述冷風機通過管路與所述機體內部連通，所述第二箱體內設置有抽風機，所述抽風機通過管路與所述機體內部連通。

優選的，所述冷風機結構包括并列設置的第一冷風機和第二冷風機，所述機體的左端設置有第一出風口和第二出風口，所述第一冷風機通過管路與所述第一出風口連通，所述第二冷風機通過管路與所述第二出風口連通。

優選的，所述抽風機結構包括并列設置的第一抽風機和第二抽風機，所述機體右端設置有第一進風口和第二進風口，所述第一抽風機通過管路與所述第一進風口連通，所述第二抽風機通過管路與所述第二進風口連通。

優選的，所述機體包括內殼體和外殼體，所述內殼體和所述外殼體之間設置有循環水管路，所述機體的上端設置有進水管和出水管，所述循環水管路分別與所述進水管和所述出水管連通。

優選的，所述機體的后端設置有水箱，所述水箱內設置有并列設置的第一制冷器和第二制冷器，所述水箱通過水泵分別與所述進水管和所述出水管連通。

與現有技術相比，本實用新型具有以下優點：

1、通過設置有兩組相對設置的冷風機和抽風機，使得機體內部的高溫氣體可以通過抽風機快速被抽離出機體內部，同時再通過另一端的冷風機為機體內部注入冷空氣，從而達到快速降溫的目的。

2、在機體的殼體間隙內設置循環水管路，并且通過設置在外部的水箱進行供水，同時在水箱內設置制冷器，使得水箱的水溫保持溫度較低的程度，從而為機體進行降溫。

附圖說明

圖1是本實用新型的實施例結構示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，下面結合附圖與實例對本實用新型作進一步詳細說明，但所舉實例不作為對本實用新型的限定。