[實用新型]一種超純氣瓶的全自動預處理裝置

有效

• 申請號: 201922357313.3
• 申請日: 2019-12-25
• 公開（公告）號: CN212457626U
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發明（設計）人: 閆云;張凈普;李旭;胡帥;岳立平;羅文健;鄭藝;鄭秋艷
• 申請（專利權）人: 中船重工（邯鄲）派瑞特種氣體有限公司
• 主分類號: F26B5/04
• 分類號: F26B5/04;F26B23/00;F26B25/00;F26B25/06;F26B25/22;F17C13/00
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 周蜜;仇蕾安

1.一種超純氣瓶的全自動預處理裝置，其特征在于，包括：氣瓶烘箱(1)、自動排空單元、自動置換單元、自動抽空單元和氣路總管(13)；

氣路總管(13)一端連接自動排空單元，另一端連接自動抽空單元，自動置換單元連接在氣路總管(13)上；氣瓶烘箱(1)中的氣瓶通過氣動閥(9)連接在氣路總管(13)上，位于自動置換單元和自動排空單元之間，氣路總管(13)上連接有壓力傳感器(8)。

2.根據權利要求1所述的超純氣瓶的全自動預處理裝置，其特征在于，所述氣瓶烘箱(1)為密閉式，烘箱內底部設有加熱系統，加熱系統上隔空放置金屬蓋板，金屬蓋板上方放置待處理氣瓶。

3.根據權利要求1所述的超純氣瓶的全自動預處理裝置，其特征在于，所述氣瓶烘箱(1)配備熱電偶和數顯溫控儀(10)。

4.根據權利要求1所述的超純氣瓶的全自動預處理裝置，其特征在于，所述自動排空單元包括相連的排空氣動閥(12)和排空單向閥(11)。

5.根據權利要求1所述的超純氣瓶的全自動預處理裝置，其特征在于，所述自動置換單元包括依次連接的置換氣瓶(5)、減壓閥(6)、置換氣動閥(7)。

6.根據權利要求1所述的超純氣瓶的全自動預處理裝置，其特征在于，所述自動抽空單元包括相連的抽空氣動閥(4)和真空泵機組(2)，抽空氣動閥(4)和真空泵機組(2)之間連接有電阻規(3)；所述真空泵機組(2)包括相連的前級泵(22)和后級泵(21)。

7.根據權利要求6所述的超純氣瓶的全自動預處理裝置，其特征在于，所述前級泵(22)、后級泵(21)、抽空氣動閥(4)和電阻規(3)均接入分布式控制系統，根據電阻規(3)示數控制后級泵(21)和抽空氣動閥(4)的啟停。

8.根據權利要求1所述的超純氣瓶的全自動預處理裝置，其特征在于，所述自動排空單元、自動抽空單元和自動置換單元通過分布式控制系統控制，按程序依序運行。

9.根據權利要求1所述的超純氣瓶的全自動預處理裝置，其特征在于，所述氣路總管(13)中閥門和管路均采用電拋光級。