[實用新型]一種MO源鋼瓶的連接管定位夾具

有效

• 申請號: 201922334543.8
• 申請日: 2019-12-24
• 公開（公告）號: CN211331981U
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 鄭江;薛亮
• 申請（專利權）人: 常熟制藥機械廠有限公司
• 主分類號: B23K37/04
• 分類號: B23K37/04
• 代理公司: 蘇州市小巨人知識產權代理事務所(普通合伙) 32415
• 代理人: 凌立

本實用新型公開了一種MO源鋼瓶的連接管定位夾具，包括與驅動電機驅動安裝連接的三爪型安裝卡盤，所述三爪型安裝卡盤包括呈圓周間隔狀分布的第一定位爪、第二定位爪和第三定位爪，且各定位爪的端部相互配合連接形成1個夾頭封閉圓孔，該夾頭封閉圓孔用于限位安裝MO源鋼瓶的連接管；本實用新型有效可靠地確保在連接管與接頭進行焊接的過程中不會發生偏移而導致焊接密封質量問題，而且本實用新型操作過程簡單，直接通過驅動三爪型安裝卡盤位移來選擇性實現對連接管的定位夾緊和松脫，非常便捷。

技術領域

本實用新型屬于MO源封裝容器的制造加工領域，具體涉及了一種MO源鋼瓶的連接管定位夾具。

背景技術

MO源(Metalorganic Source)是指MOCVD外延技術中作為基本材料使用的高純金屬有機化合物(典型的主要材料包括三甲基鎵、三乙基鎵、三甲基銦、三乙基銦、三甲基鋁等)，在外文文獻中，MO源通常也被稱為“MOCVD的前體物”，目前被廣泛應用于LED外延片制造行業中。

如公開號為CN109852948A的中國發明專利在背景技術中的記載內容，由于MO元需要存儲在具有高潔凈度以及高度封裝效果且同時有惰性氣體保護的MO鋼瓶供給設備中。如CN109852948A進一步提及，由于MO源在存儲罐中的晶型尺寸、堆積度和物料高度等因素均會影響MO源鋼瓶的MO源濃度，也可稱為MO源供給飽和度，進而嚴重影響MO源在實施應用時的使用效果。

因此，市場迫切尋求技術方案對以上技術問題進行改進。同時，基于本申請發明人在MO源鋼瓶產品領域的多年專注研究以及所累積的開發經驗，決定針對各種不同體積規格的MO源鋼瓶分別提出對應解決方案，進而改善MO源鋼瓶存在的流量飽和度問題。

發明內容

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種MO源鋼瓶的連接管定位夾具，可以確保對MO源鋼瓶的連接管的高精度定位，有效可靠地確保在連接管與接頭進行焊接的過程中不會發生偏移而導致焊接密封質量問題，而且本實用新型操作過程簡單，直接通過驅動三爪型安裝卡盤位移來選擇性實現對連接管的定位夾緊和松脫，非常便捷。

現有技術中的MO源鋼瓶均是采用進氣口延伸入MO源鋼瓶內用于注入載氣，同時出氣管直接設置在MO源鋼瓶的上端部，這通常有利于將鼓泡后形成的MO源飽和蒸汽輸出至產線進行應用，然而，申請人發現，該結構當應用于超大容量的MO源鋼瓶時，用于MO源鋼瓶的容量大，當MO源鋼瓶內的MO源余量多時，位于上端部的出氣口無法即時快速地接收的到MO源飽和氣體，且均勻性無法保證，當MO源鋼瓶內的MO源余量少時，位于底部的MO源氣體難以拿到飽和狀態被輸出，造成MO源的利用率較低，因此，本申請人針對性地出了解決方案。

本實用新型采用的技術方案如下：

一種超大容量MO源鋼瓶，包括設有MO源封裝空間的鋼瓶本體，所述鋼瓶本體上端部分別設有與MO源封裝空間連通且用于注入載氣的進氣管和輸出MO源氣體的出氣管，同時進氣管和出氣管上分別安裝有進氣閥和出氣閥，所述MO源封裝空間的體積不小于15000mL，所述進氣管與所述出氣管相對于所述鋼瓶本體中心線呈左右對稱分布；

所述鋼瓶本體底部采用弧形曲面鋼瓶底部，弧形曲面鋼瓶底部固定焊接在與其形狀對應配合的鋼瓶底座上，所述進氣管的出口和所述出氣管的入口均位于所述弧形曲面鋼瓶底部，在弧形曲面鋼瓶底部形成均勻鼓泡對流區域。

優選地，所述MO源封裝空間的體積為20000mL或25000mL。

優選地，所述鋼瓶底座外徑與所述鋼瓶本體外徑之間的差值不大于10mm，使得所述MO源鋼瓶整體呈圓柱狀。

優選地，位于所述進氣管和出氣管之間的所述鋼瓶本體上端部還設有用于充裝MO源的MO源充裝口，且所述MO源充裝口設有壓力傳感器接頭，用于檢測所述MO源封裝空間內的MO源流量壓力；同時所述MO源充裝口的中心軸線與所述弧形曲面鋼瓶底部的中心軸線重合。