[實用新型]氣體流量顯示儀

有效

• 申請號: 201922311370.8
• 申請日: 2019-12-20
• 公開（公告）號: CN211552942U
• 公開（公告）日: 2020-09-22
• 發明（設計）人: 余嘯峰;趙迪;杜井慶
• 申請（專利權）人: 北京七星華創流量計有限公司
• 主分類號: G01F1/76
• 分類號: G01F1/76;G01F15/06
• 代理公司: 北京思創畢升專利事務所 11218
• 代理人: 孫向民;廉莉莉

本實用新型公開一種氣體流量顯示儀，包括：殼體，殼體內設有電路板、電池組、充電模塊，殼體表面設有顯示屏和設備接口，電路板分別與電池組、充電模塊、顯示屏、設備接口電連接，電池組與充電模塊電連接；設備接口用于連接氣體質量流量控制器或氣體質量流量計；該氣體流量顯示儀的可由電池組供電，無需外部供電；氣體質量流量控制器或氣體質量流量計通過設備接口與氣體流量顯示儀的電路板連接，通過顯示屏實時顯示氣體流量，設備體積小，便于戶外無交流電源或者移動檢測的情況。

技術領域

本實用新型屬于氣體流量技術領域，更具體地，涉及一種氣體流量顯示儀。

背景技術

質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制；質量流量計(Mass Flow Meter縮寫為MFM)用于對氣體的質量流量進行精密測量。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入等工藝流程。

氣體流量顯示儀是與氣體質量流量控制器(MFC)和質量流量計(MFM)配套使用的儀表，為其提供工作電源、操作控制、流量設定和流量數字顯示等。目前氣體流量顯示儀很大一部分是由外部提供的交流電源，并且顯示儀多采用數碼管顯示，配置顯得比較低端與固化。針對需要移動測量，外部環境不方便提供外接電源的情況下，普通的氣體流量顯示儀無法應用或者應用十分不方便。

因此，需要一種產品本身自帶電源且集成顯示功能的氣體流量顯示儀。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種氣體流量顯示儀，能夠實現自供電和顯示功能，便于移動測量。

為了實現上述目的，本實用新型提供一種氣體流量顯示儀，包括：

殼體，所述殼體內設有電路板、電池組、充電模塊，所述殼體表面設有顯示屏和設備接口，所述電路板分別與所述電池組、充電模塊、顯示屏、設備接口電連接，所述電池組與所述充電模塊電連接；所述設備接口用于連接氣體質量流量控制器或氣體質量流量計。

優選地，所述電路板包括微控制單元、轉換電路、信號采集電路，所述轉換電路用于將所述設備接口接收的氣體質量流量控制器或所述氣體質量流量計的電信號轉換成流量信號，所述信號采集單元用于采集所述流量信號并將所述流量信號發送至所述微控制單元，所述微控制單元用于將所述流量信號傳輸至所述顯示屏進行顯示。

優選地，所述充電模塊包括直流適配器，所述殼體上設有充電插口，所述電池組通過所述直流適配器與所述充電接口電連接。

優選地，所述電池組可拆卸地設置于所述殼體內，所述電池組為鋰電池組。

優選地，所述電池組設有充放電保護組件。

優選地，所述充放電保護組件包括設置于所述電池組內的充放電保護電路板和電池電量檢測電路板。

優選地，還包括無線通信模塊，所述無線通信模塊設置于所述殼體內，所述無線通信模塊用于將所述流量信號傳輸至移動終端和/或PC端。

優選地，所述殼體包括前殼體和后殼體，所述前殼體與所述后殼體通過多組螺釘連接。

優選地，所述前殼體與所述后殼體的連接處設有滾紋封口。

優選地，所述滾紋封口處填充有密封膠。

本實用新型的有益效果在于：該氣體流量顯示儀可由電池組供電，無需外部供電；氣體質量流量控制器或氣體質量流量計通過設備接口與氣體流量顯示儀的電路板連接，通過顯示屏實時顯示氣體流量，設備體積小，可以手持，便于戶外無交流電源或者移動檢測的情況。

本實用新型的其它特征和優點將在隨后具體實施方式部分予以詳細說明。