[實(shí)用新型]一種用于除掉氯硅烷中氯化鋁的過(guò)濾器設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922306538.6
• 申請(qǐng)日: 2019-12-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN212214841U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王文;柳軍強(qiáng);吳梅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 四川綠源聚能環(huán)保科技有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): B01D36/00
• 分類號(hào): B01D36/00
• 代理公司: 成都天嘉專利事務(wù)所(普通合伙) 51211
• 代理人: 康拯通

本實(shí)用新型屬于氯硅烷處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種用于除掉氯硅烷中氯化鋁的過(guò)濾器設(shè)備，包括內(nèi)部為中空腔體、頂部設(shè)置有可開(kāi)啟頂蓋的過(guò)濾罐體，過(guò)濾罐體側(cè)壁上部靠近其頂蓋處設(shè)置有帶有閥口的氯硅烷液體入口，過(guò)濾罐體內(nèi)部的中空腔體自上而下依次設(shè)置有帶孔漏板和若干層內(nèi)部含有活性炭粉的過(guò)濾板；過(guò)濾罐體底部設(shè)置有帶有閥門(mén)的氯硅烷液體出口，是一種基于過(guò)濾方法、且內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)明、便于維護(hù)使用的用于除掉氯硅烷中氯化鋁的過(guò)濾器設(shè)備。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于氯硅烷處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于除掉氯硅烷中氯化鋁的過(guò)濾器設(shè)備。

背景技術(shù)

氯硅烷是一種化學(xué)品，通常用作硅外延片生產(chǎn)過(guò)程中的硅源及制備有機(jī)氯硅烷的原料，能與含活潑氫的化合物進(jìn)行激烈反應(yīng)。氯硅烷能與含活潑氫的化合物進(jìn)行激烈反應(yīng)，如與水、醇、酚、硅醇、有機(jī)酸等，放出氯化氫；與有機(jī)金屬化合物反應(yīng)，氯原子被相應(yīng)的有機(jī)基取代，生成有機(jī)氯硅烷或有機(jī)硅烷。

氯硅烷的生產(chǎn)成本很低，但是在它們生產(chǎn)過(guò)程中容易生成鹵化物，如氯化鋁。氯硅烷中含有的氯化鋁容易受溫度影響析出，析出的氯化鋁呈白色晶體，容易吸附在閥門(mén)、管道上面，阻塞管道和閥門(mén)，影響設(shè)備的使用壽命。雖然可通過(guò)蒸餾來(lái)移除氯化鋁，但是非常困難，因?yàn)檎麴s系統(tǒng)內(nèi)往往會(huì)形成固態(tài)沉積物，并且不可能直接產(chǎn)生高濃度鋁液態(tài)廢物，因此需要處理的廢物較多，費(fèi)用高昂并且造成環(huán)境問(wèn)題。

如現(xiàn)有技術(shù)中，公開(kāi)號(hào)為CN203866043U，名稱為“一種從氯硅烷中去除三氯化鋁的裝置”的實(shí)用新型專利文獻(xiàn)，提供一種從氯硅烷中去除三氯化鋁的裝置，該裝置依次包括原液儲(chǔ)罐、第一蒸餾塔、第一除雜器、緩沖罐、第二蒸餾塔、第二除雜器、冷凝器和提純儲(chǔ)罐，原液儲(chǔ)罐與第一蒸餾塔下部連接，第一蒸餾塔頂部與第一除雜器連接，第一除雜器與緩沖罐頂部連接，緩沖罐底部與第二蒸餾塔連接，第二蒸餾塔與第二除雜器頂部連接，第二蒸餾塔頂部與冷凝器頂部連接，冷凝器與提純儲(chǔ)罐連接，各部件均通過(guò)管路連接。

現(xiàn)有技術(shù)的這種方案就是依然是基于蒸餾的方式對(duì)氯硅烷中的氯化鋁進(jìn)行去除，并且這種方案整體設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，實(shí)現(xiàn)成本較高，也有比較高的維護(hù)要求。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提出一種基于過(guò)濾方法、且內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)明、便于維護(hù)使用的用于除掉氯硅烷中氯化鋁的過(guò)濾器設(shè)備。

為了實(shí)現(xiàn)上述實(shí)用新型目的，其具體的技術(shù)方案如下：

一種用于除掉氯硅烷中氯化鋁的過(guò)濾器設(shè)備，其特征在于：包括內(nèi)部為中空腔體、頂部設(shè)置有可開(kāi)啟頂蓋的過(guò)濾罐體，過(guò)濾罐體側(cè)壁上部靠近其頂蓋處設(shè)置有帶有閥口的氯硅烷液體入口，過(guò)濾罐體內(nèi)部的中空腔體自上而下依次設(shè)置有帶孔漏板和若干層內(nèi)部含有活性炭粉的過(guò)濾板；過(guò)濾罐體底部設(shè)置有帶有閥門(mén)的氯硅烷液體出口；將含有氯化鋁的氯硅烷液體通過(guò)氯硅烷液體入口放入設(shè)備當(dāng)中，緩慢通入，氯硅烷液體經(jīng)過(guò)帶孔漏板，將氯硅烷液體均勻的流到下面的過(guò)濾板，當(dāng)氯硅烷液體流過(guò)過(guò)濾板中的活性炭時(shí)，氯化鋁便會(huì)吸附在活性碳上面，經(jīng)過(guò)若干層過(guò)濾板的氯硅烷流到過(guò)濾罐體的下部，等積攢到一定量時(shí)，關(guān)閉進(jìn)口，打開(kāi)下面的閥門(mén)一次性排出即可，此過(guò)濾器設(shè)備頂部可以打開(kāi)，方便更換濾片。

而所述帶孔漏板為形狀和尺寸與過(guò)濾罐體內(nèi)中空腔體對(duì)應(yīng)、具有一定厚度且?guī)в腥舾赏鬃鳛槁┛椎乃芰喜陌澹芰习宀木哂休^好的耐腐蝕性，且輕便好更換，便于拆裝且成本低，同時(shí)帶孔漏板還能兼顧將輸入的氯硅烷液體緩慢滴入過(guò)濾板以及攔截大顆粒殘?jiān)淖饔谩?/p>

對(duì)應(yīng)的，所述過(guò)濾板為形狀和尺寸與過(guò)濾罐體內(nèi)中空腔體對(duì)應(yīng)、具有一定厚度帶有若干通孔，且通孔中填有活性炭粉的橡膠濾板，橡膠材質(zhì)耐腐蝕，成本低并且便于拆換，還具有較好的封閉性，氯硅烷液體只能通過(guò)其填有活性炭粉的通孔向下。

優(yōu)選地，所述過(guò)濾板為四層且均勻間隔設(shè)置在過(guò)濾罐體的中空腔體內(nèi)，四層過(guò)濾的實(shí)際效果已經(jīng)滿足使用，并且還能保證較好的過(guò)濾速率。