[實用新型]一種基于厚基材激光精細微刻裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201922300355.3
• 申請日: 2019-12-20
• 公開（公告）號: CN211465197U
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 籍偉杰;謝斌;周艷華
• 申請（專利權(quán)）人: 江陰麗晶電子科技有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/064;B23K26/082
• 代理公司: 無錫堅恒專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32348
• 代理人: 趙貴春

本實用新型公開了一種基于厚基材激光精細微刻裝置，包括安裝底板安裝于設(shè)備光路底板上置于擴束鏡光路之后，安裝底板上安裝有通光筒軸承支架以及無刷電機座，通光筒軸承支架內(nèi)裝有兩只高速軸承，通光筒安裝于高速軸承之中，通過通光筒鎖緊螺母固定在高速軸承上，利用止松固定環(huán)輔助固定通光筒鎖緊螺母，通光筒上安裝有從同步輪，由主同步輪通過同步帶傳動至從同步輪轉(zhuǎn)動，主同步輪由高速無刷電機傳動，此基于厚基材激光精細微刻裝置，結(jié)構(gòu)簡單、操作方便且改造價格低廉，通過簡單的改造可以實現(xiàn)常規(guī)設(shè)備難以加工的厚基材精細微刻加工。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及激光雕刻技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種基于厚基材激光精細微刻裝置。

背景技術(shù)

目前激光加工普遍采用兩種切割方式：1：振鏡掃描式激光加工；2：切割頭式激光加工；振鏡式激光加工利用振鏡掃描系統(tǒng)結(jié)構(gòu)光學(xué)掃描器采用動磁式和動圈式偏轉(zhuǎn)工作方式的伺服電動機驅(qū)動，具有掃描角度大、峰值力矩大、負載慣量大、機電時間常數(shù)小、工作速度快、穩(wěn)定可靠等優(yōu)點，目前大都應(yīng)用于薄膜電路蝕刻、超薄復(fù)合材料切割、硅片切割、超薄玻璃、藍寶石片相關(guān)的切割等等，主要優(yōu)點是：精度高，可以切割比較精細的圖形，異形曲線切割效果好等等，缺點也很明顯：激光器需要大功率因此較貴；無法切割厚度較厚的材料，由于切割后在切割道殘留的切割渣會遮擋后續(xù)切割的效率，因此在厚基材上往往不能振鏡切割的方式；切割頭式激光加工往往采用光纖式激光器，激光器的準直器固定于密封的切割頭中，利用聚焦鏡進行光板聚焦，在聚焦鏡下方有保護鏡片以及同軸高壓吹氣系統(tǒng)，在動輒幾百上千瓦的功率下高速切割基材，同時高壓吹氣裝置對切割道進行氣保護附帶降溫除渣功能，主要應(yīng)用于陶瓷板材切割、以及金屬、復(fù)合材料切割，一般精度要求低，主要應(yīng)用于原材料粗加工或者是外形加工，對于器件級產(chǎn)品往往不能用此方法加工，光纖切割頭式加工對于加工環(huán)境室溫等等無特殊要求。

近幾年由于技術(shù)的更新?lián)Q代，對于激光加工的要求越來越高，往往都希望在原材切割時能最大限度保證精度，對于特制器件在深切或者鉆孔時切割截面，孔壁以及錐度都提出更高的要求，為此目前最可行的做法是將振鏡切割的方式與切割頭切割方式結(jié)合起來，采用高功率納秒或者皮秒激光器經(jīng)過擴束再經(jīng)過一道道反射鏡片到達聚焦鏡片，再聚焦至產(chǎn)品進行切割，由于聚焦后的激光光斑只是一個5—10微米的能量光斑，它不具備去除材料的能力，只能在激光行進路線留下切割痕跡，并不能很好的去除材料。為此，我們提出一種基于厚基材激光精細微刻裝置。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種基于厚基材激光精細微刻裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種基于厚基材激光精細微刻裝置，包括設(shè)置在光路底板上且置于擴束鏡光路之后的安裝底板，所述安裝底板上分別安裝有軸承支架和驅(qū)動裝置，軸承支架內(nèi)轉(zhuǎn)動連接有導(dǎo)光裝置，所述導(dǎo)光裝置遠離所軸承支架的一端安裝有旋光鏡片模組；

所述導(dǎo)光裝置與所述驅(qū)動裝置之間設(shè)置有傳動裝置，所述驅(qū)動裝置通過所述傳動裝置帶動所述導(dǎo)光裝置轉(zhuǎn)動。

優(yōu)選的，所述軸承支架裝有兩組高速軸承，所述導(dǎo)光裝置包括通過所述高速軸承轉(zhuǎn)動連接在所述軸承支架內(nèi)的通光筒，所述通光筒上設(shè)置有通光筒鎖緊螺母，通過所述通光筒鎖緊螺母將所述通光筒固定在所述高速軸承上，所述通光筒鎖緊螺母上設(shè)置有止松固定環(huán)；

所述通光筒遠離所述軸承支架的一端與所述旋光鏡片模組固定連接。

優(yōu)選的，所述旋光鏡片模組包括固定安裝在所述通光筒遠離所述軸承支架一端的旋光棱鏡固定保持座，所述旋光棱鏡保持座遠離所述通光筒的一端外側(cè)螺紋連接有旋光鏡筒，所述旋光鏡筒遠離所述旋光棱鏡固定保持座的一端內(nèi)壁安裝有微調(diào)固定架，所述微調(diào)固定架與所述旋光棱鏡固定保持座之間設(shè)置有兩組平面軸承，所述微調(diào)固定架通過兩組所述平面軸承轉(zhuǎn)動連接在所述旋光鏡筒上；所述旋光棱鏡固定保持座和微調(diào)固定架內(nèi)均設(shè)置有楔形棱鏡。