[實用新型]一種電容薄膜加工用蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201922295688.1
• 申請日: 2019-12-19
• 公開（公告）號: CN211339670U
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 徐明強;陳文亮;張勇
• 申請（專利權）人: 南通百正電子新材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 嚴志平

1.一種電容薄膜加工用蒸鍍設備，包括蒸鍍設備主體(1)、清理機構與限位機構，其特征在于：所述清理機構包括玻璃鐘罩(2)，所述玻璃鐘罩(2)處于蒸鍍設備主體(1)頂端一側，所述蒸鍍設備主體(1)頂端表面設置有固定環(5)，所述玻璃鐘罩(2)底端表面設置有固定圈(4)，所述固定圈(4)處于固定環(5)頂端表面一側，所述固定圈(4)頂端一側設置有壓塊(8)，所述固定環(5)一端開設有孔洞(7)，且所述壓塊(8)一端貫穿于孔洞(7)內側，所述壓塊(8)頂端設置有螺栓(6)，所述螺栓(6)底端貫穿于壓塊(8)內壁處于固定圈(4)頂端外側，所述固定圈(4)底端設置有凸塊(9)，所述固定環(5)頂端開設有第一卡槽(10)，所述凸塊(9)處于第一卡槽(10)內側，所述第一卡槽(10)內壁設置有密封圈(11)。

2.根據權利要求1所述的一種電容薄膜加工用蒸鍍設備，其特征在于：所述限位機構包括限位桿(13)，所述限位桿(13)處于蒸鍍設備主體(1)底端表面，所述蒸鍍設備主體(1)底端表面開設有限位槽(12)，所述限位桿(13)一端處于限位槽(12)內側，所述限位桿(13)處于蒸鍍設備主體(1)外側的外表面設置有限位塊(15)，所述限位塊(15)頂端開設有槽體(16)，所述限位桿(13)一端貫穿于槽體(16)內側，所述限位桿(13)底端設置有墊板(19)，所述限位塊(15)外側設置有轉桿(17)，所述限位塊(15)外側開設有第二卡槽(18)，且所述轉桿(17)一端處于第二卡槽(18)內側。

3.根據權利要求1所述的一種電容薄膜加工用蒸鍍設備，其特征在于：所述蒸鍍設備主體(1)頂端一側設置有操作臺(3)，所述操作臺(3)前表面設置有按鍵，所述按鍵一側設置有顯示屏。

4.根據權利要求1所述的一種電容薄膜加工用蒸鍍設備，其特征在于：所述壓塊(8)與孔洞(7)為滑動連接，所述固定圈(4)通過壓塊(8)、螺栓(6)與固定環(5)卡合連接。

5.根據權利要求1所述的一種電容薄膜加工用蒸鍍設備，其特征在于：所述固定環(5)截面呈L型，所述固定環(5)固定連接于蒸鍍設備主體(1)頂端外側。

6.根據權利要求2所述的一種電容薄膜加工用蒸鍍設備，其特征在于：所述限位桿(13)處于限位槽(12)內壁的外側頂端設置有擋塊(14)，所述限位桿(13)與限位槽(12)為滑動連接。

7.根據權利要求2所述的一種電容薄膜加工用蒸鍍設備，其特征在于：所述限位桿(13)外壁設置有第一外螺紋，所述槽體(16)內壁設置有第一內螺紋，所述槽體(16)內壁第一內螺紋通過旋合限位桿(13)的第一外螺紋與限位桿(13)固定連接。

8.根據權利要求2所述的一種電容薄膜加工用蒸鍍設備，其特征在于：所述轉桿(17)外側一端設置有第二外螺紋，所述第二卡槽(18)內壁設置有第二內螺紋，所述第二卡槽(18)內壁的第二內螺紋通過旋合轉桿(17)的第二外螺紋與轉桿(17)固定連接。