[實用新型]立式爐管清洗機廢液收集機構

有效

• 申請號: 201922270522.4
• 申請日: 2019-12-17
• 公開（公告）號: CN211217882U
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發明（設計）人: 錢誠;李剛;田曉東
• 申請（專利權）人: 無錫亞電智能裝備有限公司
• 主分類號: B08B9/032
• 分類號: B08B9/032;B08B13/00;B01D29/03
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本申請涉及一種立式爐管清洗機廢液收集機構，設置在立式爐管清洗機的清洗工位底部，用于固定爐管并承接來自清洗噴管噴出的清洗廢液，所述支撐板設置為方形，具有位于中心的圓形固定板，連接所述支撐板四個頂角與圓形固定板的對角線固定板，連接所述支撐板四邊中心與圓形固定板的中線固定板，連接所述支撐板四邊中相鄰兩條邊的中心的中心線固定板，每個所述對角線固定板上設置有固定塊。通過上述設置在能保證支撐板具有較強的結構強度以支撐爐管的同時，盡可能擴大了鏤空的區域，防止頂部漏下的清洗液滴落到支撐板而發生濺起的可能，提高了清洗效果。

技術領域

本申請屬于爐管清洗設備技術領域，尤其是涉及一種立式爐管清洗機廢液收集機構。

背景技術

隨著半導體領域技術的發展，半導體制造商對晶圓的潔凈度要求越來越高，與晶圓直接接觸的爐管的潔凈度的要求也隨之提高，傳統的臥室爐管清洗設備已經無法滿足更高的潔凈度的要求。

中國專利文獻CN 208853393 U公開了一種立式爐管清洗機構，其中的噴管固定，由旋轉機構來驅動爐管旋轉，進而使爐管表面能夠全面地進行清洗，然而，讓稱重的爐管旋轉，一方面，旋轉機構需要設計得復雜，另一方面，對爐管的進行旋轉，爐管容易受到損傷。

因此，可以采用不旋轉的固定立式爐管清洗機進行清洗，但是對于立式爐管清洗機中爐管的固定就顯得尤其重要了。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是：為解決現有技術中的不足，從而提供一種立式爐管清洗機廢液收集機構。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種立式爐管清洗機廢液收集機構，包括：

廢液槽，

支撐板，設置在所述廢液槽的頂部；

所述支撐板為方形，具有位于中心的圓形固定板，連接所述支撐板四個頂角與圓形固定板的對角線固定板，連接所述支撐板四邊中心與圓形固定板的中線固定板，連接所述支撐板四邊中相鄰兩條邊的中心的中心線固定板，每個所述對角線固定板上設置有支撐塊。

優選地，本實用新型的立式爐管清洗機廢液收集機構，所述固定塊設置在沿所述對角線固定板布置的滑軌上。

優選地，本實用新型的立式爐管清洗機廢液收集機構，所述廢液槽內側頂部還設置有噴管，所述噴管能夠噴出清洗液以在必要時清洗廢液槽。

優選地，本實用新型的立式爐管清洗機廢液收集機構，所述噴管設置在所述廢液槽內側頂部長度方向兩側。

優選地，本實用新型的立式爐管清洗機廢液收集機構，所述噴管通過泵和管道與所述廢液槽底部連接。

優選地，本實用新型的立式爐管清洗機廢液收集機構，所述噴管上的噴嘴以30°-60°傾斜朝下。

優選地，本實用新型的立式爐管清洗機廢液收集機構，所述支撐板的一條邊通過鉸鏈與廢液槽頂部連接，所述廢液槽內部上設置有固定塊以對所述支撐板上相對的另一條邊進行支撐。

優選地，本實用新型的立式爐管清洗機廢液收集機構，所述廢液槽內設置有具有過濾孔的過濾板。

優選地，本實用新型的立式爐管清洗機廢液收集機構，所述廢液槽四側的槽壁上設置有溢流口。

優選地，本實用新型的立式爐管清洗機廢液收集機構，所述溢流口的底邊為齒狀。

本實用新型的有益效果是：