[實用新型]10MeV電子直線加速器電子槍用排氣裝置

有效

• 申請號: 201922231379.8
• 申請日: 2019-12-13
• 公開（公告）號: CN211378343U
• 公開（公告）日: 2020-08-28
• 發明（設計）人: 張宇蔚;楊柳
• 申請（專利權）人: 無錫愛邦輻射技術有限公司
• 主分類號: H05H7/22
• 分類號: H05H7/22
• 代理公司: 無錫大揚專利事務所(普通合伙) 32248
• 代理人: 郭豐海

本實用新型涉及一種10MeV電子直線加速器電子槍用排氣裝置。它包括電子槍和鈦泵，電子槍與鈦泵相連。其特點是：還包括離子泵和抽空三通管。離子泵的出口通過第一直通閥與抽空三通管的一個口連通，抽空三通管的另一個口通過第二直通閥與電子槍相連，抽空三通管的第三個口通過電離軌、第三直通閥和低真空電阻軌、沖放氣閥和分子泵接口管與分子泵機組的接入點相連。電離軌上連有高低真空計。電子槍通過隔離變壓器與交流調壓器的次級相連，電子槍與隔離變壓器間有交流電流表和交流電壓表。采用本實用新型，可確保電子槍的電子發射，延長電子槍的使用壽命。適用于電子直線加速器的電子槍燈絲表面、海綿層和內部所吸附的氣體的排除。

技術領域

本實用新型涉及一種排氣裝置。具體說，是用來排出電子直線加速器的電子槍燈絲表面、海棉層和內部所吸附的氣體的排氣裝置。

背景技術

在電子加速器生產和應用領域都知道，10MeV電子直線加速器的電子槍采用加熱其燈絲來發射電子。其中的電子槍燈絲為鋇鎢復合材料，在使用過程中其表面層、海棉層和內部都吸附有大量氣體。這些氣體，不僅會制約電子槍的電子發射，還會影響電子槍的使用壽命。

實用新型內容

本實用新型要解決的問題是提供一種10MeV電子直線加速器電子槍用排氣裝置。采用這種排氣裝置，不僅可確保電子槍的電子發射，還可延長電子槍的使用壽命。

本實用新型要解決的上述問題由以下技術方案實現：

本實用新型的10MeV電子直線加速器電子槍用排氣裝置包括電子槍和鈦泵，電子槍與鈦泵相連。其特點是：還包括離子泵和抽空三通管。離子泵的出口通過第一直通閥與抽空三通管的一個口連通，抽空三通管的另一個口通過第二直通閥與電子槍相連，抽空三通管的第三個口通過電離軌、第三直通閥和低真空電阻軌、沖放氣閥和分子泵接口管與分子泵機組的接入點相連。電離軌上連有高低真空計。電子槍通過隔離變壓器與交流調壓器的次級相連，電子槍與隔離變壓器間有交流電流表和交流電壓表。

其中，離子泵與第一直通閥間有第一過渡法蘭。

第二直通閥與電子槍間有第二過渡法蘭。

由上述方案可以看出，本實用新型的10MeV電子直線加速器電子槍用排氣裝置含有離子泵和抽空三通管。離子泵的出口通過第一直通閥與抽空三通管的一個口連通，抽空三通管的另一個口通過第二直通閥與電子槍相連，抽空三通管的第三個口通過電離軌、第三直通閥和低真空電阻軌、沖放氣閥和分子泵接口管與分子泵機組的接入點相連。電離軌上連有高低真空計。電子槍通過隔離變壓器與交流調壓器的次級相連，電子槍與隔離變壓器間有交流電流表和交流電壓表。排氣時，首先用分子泵機組對10MeV電子直線加速器進行抽真空。當真空度達到10^-4Pa后，用電加熱帶包裹電子槍及整個電子加速器，用140~170⁰C的溫度加熱24小時，在此過程中，分子泵機組必須連續運行，以便將真空管道及電子槍表面逸出的氣體完全排出。然后，再啟動離子泵，待離子流達到50微安以下且電子槍及管路完全冷卻時，啟動電子槍自帶的鈦泵，待鈦泵電壓達到4.5kv工作電壓、20微安以下電流時，慢慢加壓，對燈絲進行排氣，直至將附著在電子槍燈絲表面層、海棉層和內部的氣體排除干凈。通過排氣，確保了電子槍的電子發射，延長了電子槍的使用壽命。

附圖說明

圖1是本實用新型的10MeV電子直線加速器電子槍用排氣裝置示意圖。

具體實施方式