[實用新型]10MeV電子直線加速器電子槍用排氣裝置有效

申請號：	201922231379.8	申請日：	2019-12-13
公開（公告）號：	CN211378343U	公開（公告）日：	2020-08-28
發明（設計）人：	張宇蔚;楊柳	申請（專利權）人：	無錫愛邦輻射技術有限公司
主分類號：	H05H7/22	分類號：	H05H7/22
代理公司：	無錫大揚專利事務所(普通合伙) 32248	代理人：	郭豐海
地址：	214000 江蘇省無錫市***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	10 mev 電子直線加速器電子槍排氣裝置
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【權利要求書】：

1.10MeV電子直線加速器電子槍用排氣裝置，包括電子槍和鈦泵，電子槍與鈦泵相連；其特征在于：還包括離子泵和抽空三通管；離子泵的出口通過第一直通閥與抽空三通管的一個口連通，抽空三通管的另一個口通過第二直通閥與電子槍相連，抽空三通管的第三個口通過電離軌、第三直通閥和低真空電阻軌、沖放氣閥和分子泵接口管與分子泵機組的接入點相連；電離軌上連有高低真空計；電子槍通過隔離變壓器與交流調壓器的次級相連，電子槍與隔離變壓器間有交流電流表和交流電壓表。

2.根據權利要求1所述的10MeV電子直線加速器電子槍用排氣裝置，其特征在于：離子泵與第一直通閥間有第一過渡法蘭。

3.根據權利要求1所述的10MeV電子直線加速器電子槍用排氣裝置，其特征在于：第二直通閥與電子槍間有第二過渡法蘭。

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