[實(shí)用新型]一種具有除塵機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201922203314.2 | 申請(qǐng)日: | 2019-12-11 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN212266290U | 公開(kāi)(公告)日: | 2021-01-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 竇紅衛(wèi) | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 興化市天東軟件科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | B28D5/04 | 分類號(hào): | B28D5/04;B28D7/02;B28D7/04;B24B27/06;B24B55/06;B24B41/06 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 具有 除塵 機(jī)構(gòu) 切割機(jī) | ||
本實(shí)用新型涉及多線切割機(jī)技術(shù)領(lǐng)域,且公開(kāi)了一種具有除塵機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī),包括機(jī)身,所述機(jī)身的內(nèi)部通過(guò)螺栓固定連接有第一電機(jī),所述第一電機(jī)的一端通過(guò)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有絲杠,所述絲杠的一側(cè)外壁上通過(guò)螺紋旋合連接有第一升降座,所述第一升降座的頂部中央位置處通過(guò)螺紋旋合連接有螺桿,所述螺桿的底端焊接有壓板,所述機(jī)身的一側(cè)外壁上通過(guò)螺栓固定連接有第二電機(jī)。該具有除塵機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī),通過(guò)絲杠、第一升降座、螺桿、壓板和第二升降座的相互配合,使得工件被有效的夾緊,并實(shí)現(xiàn)工件兩端的固定,保證工件與金屬絲接觸的均勻,避免產(chǎn)生傾斜切割路徑的問(wèn)題,保證工件切割的穩(wěn)定和精度,提高線切割機(jī)的切割質(zhì)量。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及多線切割機(jī)技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種具有除塵機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī)。
背景技術(shù)
多線切割是一種通過(guò)金屬絲的高速往復(fù)運(yùn)動(dòng),把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進(jìn)行研磨,將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法,數(shù)控多線切割機(jī)已逐漸取代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割,成為硅片切割加工的主要方式。
為了保證線切割機(jī)對(duì)工件切割的穩(wěn)定,人們大多加快切割速度,以保證切割的穩(wěn)定,中國(guó)專利“一種多線切割機(jī)”(專利號(hào):CN204450904U),通過(guò)使待加工件軸向旋轉(zhuǎn),減少切割阻力,加快切割速度,提高切割效率,但是,該專利“一種多線切割機(jī)”在工件切割時(shí)會(huì)產(chǎn)生的大量的粉塵,這些粉塵缺少有效的收集裝置,另外,工件與金屬線接觸時(shí),難以保證接觸均勻,容易產(chǎn)生切割角度傾斜,金屬絲上吸附雜質(zhì)影響后續(xù)切割的位置的光滑度。
實(shí)用新型內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型提供了一種具有除塵機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī),解決了上述背景技術(shù)提出的問(wèn)題。
本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種具有除塵機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī),包括機(jī)身,所述機(jī)身的內(nèi)部通過(guò)螺栓固定連接有第一電機(jī),所述第一電機(jī)的一端通過(guò)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有絲杠,所述絲杠的一側(cè)外壁上通過(guò)螺紋旋合連接有第一升降座,所述第一升降座的頂部中央位置處通過(guò)螺紋旋合連接有螺桿,所述螺桿的底端焊接有壓板,所述機(jī)身的一側(cè)外壁上通過(guò)螺栓固定連接有第二電機(jī),所述第二電機(jī)的一端通過(guò)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有收線輪,所述機(jī)身的一側(cè)內(nèi)壁上靠近收線輪的下方位置處轉(zhuǎn)動(dòng)連接有主軸,所述主軸的一側(cè)外壁開(kāi)設(shè)有線槽,所述機(jī)身的一側(cè)內(nèi)壁上靠近收線輪與主軸之間設(shè)置有張力輪和排線管,所述張力輪位于排線管的上方,所述排線管的一側(cè)外壁上通過(guò)螺栓固定連接有第三電機(jī),所述第三電機(jī)的一端通過(guò)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有齒輪,所述排線管的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有齒輪環(huán),所述齒輪環(huán)與齒輪通過(guò)鏈條傳動(dòng)連接,所述齒輪環(huán)的一側(cè)內(nèi)壁上嵌入有刷毛。
優(yōu)選的,所述機(jī)身的一側(cè)外壁上通過(guò)鉸鏈轉(zhuǎn)動(dòng)連接有機(jī)門,所述機(jī)門的一側(cè)外壁上滑動(dòng)連接有第二升降座。
優(yōu)選的,所述機(jī)身的內(nèi)部設(shè)置有除塵箱,所述除塵箱的內(nèi)部通過(guò)螺栓固定連接有濾網(wǎng)和風(fēng)機(jī),所述濾網(wǎng)位于風(fēng)機(jī)的一側(cè)。
優(yōu)選的,所述除塵箱與機(jī)身之間設(shè)置有第一連接管和第二連接管,所述第一連接管位于第二連接管的一側(cè)。
優(yōu)選的,所述第二連接管的一側(cè)外壁上設(shè)置有單向閥。
優(yōu)選的,所述主軸共設(shè)置有兩個(gè),且兩個(gè)主軸對(duì)稱設(shè)置在機(jī)身的一側(cè)內(nèi)壁上。
本實(shí)用新型具備以下有益效果:
1、該具有除塵機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī),通過(guò)絲杠、第一升降座、螺桿、壓板和第二升降座的相互配合,使得工件被有效的夾緊,并實(shí)現(xiàn)工件兩端的固定,保證工件與金屬絲接觸的均勻,避免產(chǎn)生傾斜切割路徑的問(wèn)題,保證工件切割的穩(wěn)定和精度,提高線切割機(jī)的切割質(zhì)量。
2、該具有除塵機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī),通過(guò)排線管、第三電機(jī)、齒輪、齒輪環(huán)、鏈條和刷毛的相互配合,使得金屬絲在高速轉(zhuǎn)動(dòng)的刷毛作用下被清理干凈,避免碎屑粉塵吸附在金屬絲后續(xù)切割產(chǎn)生毛邊的問(wèn)題,保證工件切割處的光滑度。
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