[實用新型]一種能夠提高硅粉使用效率的三氯氫硅反應爐

有效

• 申請號: 201922198132.0
• 申請日: 2019-12-10
• 公開（公告）號: CN211111078U
• 公開（公告）日: 2020-07-28
• 發明（設計）人: 孫亮
• 申請（專利權）人: 唐山三孚硅業股份有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 石家莊冀科專利商標事務所有限公司 13108
• 代理人: 李桂芳

1.一種能夠提高硅粉使用效率的三氯氫硅反應爐，其特征在于：它包括爐體（1）、爐體上封頭（2）、爐體下封頭（3）、氣體分布器（6）、螺旋折流板（7）、換熱管（8），爐體（1）為圓筒體，爐體（1）的圓筒體有錐度，爐體（1）的上部直徑大于爐體（1）的下部直徑，爐體上封頭（2）和爐體下封頭（3）分別安裝在爐體（1）的上端和下端，爐體下封頭（3）一側有氣體進氣口（4），爐體上封頭（2）的頂部有氣體出氣口（5），氣體分布器（6）和螺旋折流板（7）分別安裝在爐體（1）內，氣體分布器（6）位于爐體下封頭（3）與爐體（1）連接處上方，螺旋折流板（7）位于爐體（1）與爐體上封頭（2）連接處的下方，換熱管（8）環繞安裝在爐體（1）外壁上。

2.根據權利要求1所述的能夠提高硅粉使用效率的三氯氫硅反應爐，其特征在于：所述爐體（1）的圓筒體的錐度為8-15度，爐體下封頭（3）的氣體進氣口（4）與氯化氫氣體管道相連接，爐體上封頭（2）的氣體出氣口（5）與氯硅烷氣體管道相連接。