[實用新型]一種用于紫外紅外雙色探測的紫外光電探測器

有效

• 申請號: 201922156071.1
• 申請日: 2019-12-02
• 公開（公告）號: CN211478675U
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 賈志強;楊斌;楊理玲
• 申請（專利權）人: 安瑞創新半導體（深圳）有限公司
• 主分類號: G01V8/10
• 分類號: G01V8/10;H01L25/04;H01L31/0203
• 代理公司: 北京勁創知識產權代理事務所(普通合伙) 11589
• 代理人: 張鐵蘭

本實用新型公開了一種用于紫外紅外雙色探測的紫外光電探測器，包括紫外光探測結構、紅外光探測結構和屏蔽結構，屏蔽結構為一圓柱形結構，且圓柱形結構內部為中空結構，屏蔽結構與紫外光探測結構、紅外光探測結構組成屏蔽腔，且屏蔽腔的頂部設置有反射弧面。本實用新型的紫外光電探測器通過設置紫外光緩沖層、紫外光吸收層、紅外光緩沖層和紅外光吸收層，可同時吸收紫外光線和紅外光線，多個通孔一、通孔二、通孔三的設置使光線可最大程度的進入到紫外光線探測結構中，同時光線吸收層、屏蔽結構以及反射弧面均增加了探測器對光線的探測能力，提升探測效果，使其更加準確。

技術領域

本實用新型涉及一種光電探測器，具體是一種用于紫外紅外雙色探測的紫外光電探測器。

背景技術

光電探測器能把光信號轉換為電信號。根據器件對輻射響應的方式不同或者說器件工作的機理不同，光電探測器可分為兩大類：一類是光子探測器；另一類是熱探測器。光電探測器在軍事和國民經濟的各個領域有廣泛用途。在可見光或近紅外波段主要用于射線測量和探測、工業自動控制、光度計量等；在紅外波段主要用于導彈制導、紅外熱成像、紅外遙感等方面。光電導體的另一應用是用它做攝像管靶面。為了避免光生載流子擴散引起圖像模糊，連續薄膜靶面都用高阻多晶材料，如PbS-PbO、Sb2S3等。其他材料可采取鑲嵌靶面的方法，整個靶面由約10萬個單獨探測器組成。

光電探測器可單獨探測紫外光或者紅外光，目前也有兩種光線均可探測的裝置，但其探測效果并不理想。因此，本領域技術人員提供了一種用于紫外紅外雙色探測的紫外光電探測器，以解決上述背景技術中提出的問題。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種用于紫外紅外雙色探測的紫外光電探測器，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種用于紫外紅外雙色探測的紫外光電探測器，包括紫外光探測結構、紅外光探測結構和屏蔽結構，屏蔽結構屏蔽內部紅外或紫外光線反射出去，紫外光探測結構和紅外光探測結構分別吸收檢測紫外光線和紅外光線，屏蔽結構的下部設置有紫外光探測結構，屏蔽結構的上部內側設置有紅外光探測結構，且屏蔽結構上端位于紅外光探測結構的上方設置有光線吸收層，光線吸收層具體為一圓盤結構，且光線吸收層的外側邊緣位置設置為圓弧面，圓弧面可增加光線的反射角度，使光線更好的進入光線吸收層內；

屏蔽結構為一圓柱形結構，且圓柱形結構內部為中空結構，屏蔽結構與紫外光探測結構、紅外光探測結構組成屏蔽腔，屏蔽腔用于反射光線中的紫外光線使其進入到紫外光探測結構中，且屏蔽腔的頂部設置有反射弧面，反射弧面的底面為鏡面，且反射弧面采用屏蔽材料制成，增大紫外光線的反射。

作為本實用新型進一步的方案，紫外光探測結構包括襯底層一，襯底層一上端設有紫外光緩沖層，紫外光緩沖層上端設有紫外光吸收層，且紫外光緩沖層的左側安裝有金屬電極一。

作為本實用新型再進一步的方案，紅外光探測結構包括襯底層二，襯底層二的底部連接反射弧面，襯底層二上端設有紅外光緩沖層，紅外光緩沖層上端設有紅外光吸收層，紅外光吸收層上方設置為光線吸收層，紅外光緩沖層的左側安裝有金屬電極二，且紅外光緩沖層和紫外光緩沖層的右側通過公共金屬電極連接。

作為本實用新型再進一步的方案，紅外光吸收層上開設有若干個通孔一，若干個通孔一在紅外光吸收層上均勻分布，且紅外光緩沖層和襯底層二上對應通孔一的位置分別開設有通孔二和通孔三，通孔一、通孔二和通孔三的形狀包括但不限于采用圓形，通孔一、通孔二和通孔三組成若干個通道，若干個通道均與屏蔽腔連通，用于將紫外光線傳輸至屏蔽腔內，從而被紫外光吸收層吸收。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：